一、考試性質(zhì)及對象
本考試是為電子封裝技術(shù)專業(yè)招收博士生而設(shè)置，其評價標準是高等學校碩士畢業(yè)生能達到的及格或及格以上水平，考試對象為參加博士研究生入學考試的具有碩士學位的學生或具有同等學力的在職人員。
二、考試范圍
應考范圍：微電子制造科學原理與工程技術(shù)，集成電路制造所涉及的基本單項工藝，包括光刻、等離子體和反應離子刻蝕、離子注入、擴散、氧化、蒸發(fā)、氣相外延生長、濺射和化學氣相淀積，以及工藝集成與集成電路制造等。
三、評價目標
考查考生了解和掌握微納制造的物理和化學原理、制造工藝與集成等。
四、考查要點
1. 微納制造概況
2. 襯底
3. 擴散
4. 熱氧化
5. 離子注入
6. 快速熱處理
7. 光學光刻
8. 非光學光刻技術(shù)
9. 真空科學與等離子體
10. 物理淀積：蒸發(fā)和濺射
11. 化學氣相淀積
12. 外延生長
13. 工藝集成
14. 集成電路制造