全國(guó)微電子學(xué)領(lǐng)域首個(gè)重點(diǎn)學(xué)科點(diǎn)
清華大學(xué)微電子學(xué)研究所成立于1980年9月，第一任所長(zhǎng)由全國(guó)半導(dǎo)體物理學(xué)家、中科院院士李志堅(jiān)擔(dān)任。該所是國(guó)家重點(diǎn)支持的北方微電子研究開(kāi)發(fā)基地的主要組成單位，是高素質(zhì)微納電子科技人才的培養(yǎng)基地，1988年被定為全國(guó)微電子學(xué)領(lǐng)域第一個(gè)重點(diǎn)學(xué)科點(diǎn)。
【硬件環(huán)境】?jī)蓷l集成電路工藝加工線
清華大學(xué)微米/納米技術(shù)研究中心擁有一條4英寸1微米級(jí)集成電路工藝線，具有完備的MEMS加工技術(shù)與設(shè)備，主要用于加工與MEMS器件相關(guān)的項(xiàng)目流片。另外還有一條集成電路開(kāi)發(fā)與工業(yè)性試驗(yàn)線，主要進(jìn)行各類(lèi)新型SiGe微波功率半導(dǎo)體器件與集成電路以及其他特殊用途的硅集成電路的研究開(kāi)發(fā)，并且可以提供MOSMPW(MOS多項(xiàng)目晶圓)服務(wù)。
【師資科研】器件和設(shè)計(jì)實(shí)力強(qiáng)
清華大學(xué)微電子所主要分器件、工藝、設(shè)計(jì)和CAD四個(gè)研究方向。在這四個(gè)研究領(lǐng)域中，該所器件和設(shè)計(jì)實(shí)力強(qiáng)，研究資金豐厚。
器件方向，主要強(qiáng)在理論，其研究方向包括新器件結(jié)構(gòu)與模型、新材料與工藝、新概念與原理，其特點(diǎn)在于新材料和新器件方向結(jié)合、LIGA技術(shù)與傳統(tǒng)IC方向結(jié)合、微納米級(jí)器件設(shè)計(jì)與小尺寸器件模型建立相結(jié)合。微納器件與系統(tǒng)研究室目前由任天令教授主管，研究方向包括MEMS、新型半導(dǎo)體存儲(chǔ)技術(shù)、納電子與自旋電子學(xué)和微納電子技術(shù)新材料等。在MEMS研究方面，器件組是國(guó)內(nèi)惟一重復(fù)出當(dāng)年的靜電微馬達(dá)的科研單位。
工藝方向，包括了研究傳統(tǒng)的CMOS工藝技術(shù)以及一些新型的工藝技術(shù)如數(shù)?；旌瞎に嚨鹊取Ｆ渲械募呻娐烽_(kāi)發(fā)與工業(yè)性試驗(yàn)線由劉志弘教授任主任，該組的主要研究方向是：深亞微米集成電路制造、SiGe技術(shù)、非揮發(fā)性存儲(chǔ)技術(shù)、POWER器件及集成電路，以及集成電路生產(chǎn)自動(dòng)化控制等。
設(shè)計(jì)方向更偏向于工程。在各大高校中，清華的電路設(shè)計(jì)是一流的，與各大公司、研究所以及國(guó)內(nèi)外foundry都有較多的合作，研究課題涉及數(shù)字多媒體、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)及模糊電路、高層次綜合技術(shù)(原大唐總裁魏少軍在這個(gè)方向?yàn)楸贝笄迦A的研究生開(kāi)有任選課)、IC測(cè)試、多媒體VLSI、加密電路及CPU等等。集成電路與系統(tǒng)設(shè)計(jì)研究室由王志華教授領(lǐng)導(dǎo)，研究領(lǐng)域?yàn)榧呻娐放c系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法學(xué)、模擬和射頻集成電路設(shè)計(jì)、通訊集成電路設(shè)計(jì)和高速實(shí)時(shí)信號(hào)處理。
CAD技術(shù)研究室的主任為王燕教授，該組的主要研究方向有：極小尺寸MOS器件輸運(yùn)機(jī)理研究、納米級(jí)量子、電子器件結(jié)構(gòu)和理論分析、微/納米級(jí)器件的CAD軟件研究、微/納米級(jí)新結(jié)構(gòu)器件研究、建庫(kù)方法學(xué)研究和用于SOC存儲(chǔ)器類(lèi)的IP核開(kāi)發(fā)、射頻(RF)電路版圖設(shè)計(jì)的電路提取和驗(yàn)證，以及集成電路制造的計(jì)算機(jī)輔助管理系統(tǒng)(IC-CAM系統(tǒng))研發(fā)等。
【招生信息】
清華研究生微電子所難考的原因，在于他接收的考試生比較少(2007年僅招10人)，而保送生為30～40人。清華大學(xué)在深圳也設(shè)有研究生院，但是一般只培養(yǎng)工程碩士(專(zhuān)業(yè)碩士的一種)。微電子所2007年在北京、深圳兩地招收工程碩士人數(shù)總共為74名。
清華大學(xué)微電子學(xué)研究所成立于1980年9月，第一任所長(zhǎng)由全國(guó)半導(dǎo)體物理學(xué)家、中科院院士李志堅(jiān)擔(dān)任。該所是國(guó)家重點(diǎn)支持的北方微電子研究開(kāi)發(fā)基地的主要組成單位，是高素質(zhì)微納電子科技人才的培養(yǎng)基地，1988年被定為全國(guó)微電子學(xué)領(lǐng)域第一個(gè)重點(diǎn)學(xué)科點(diǎn)。
【硬件環(huán)境】?jī)蓷l集成電路工藝加工線
清華大學(xué)微米/納米技術(shù)研究中心擁有一條4英寸1微米級(jí)集成電路工藝線，具有完備的MEMS加工技術(shù)與設(shè)備，主要用于加工與MEMS器件相關(guān)的項(xiàng)目流片。另外還有一條集成電路開(kāi)發(fā)與工業(yè)性試驗(yàn)線，主要進(jìn)行各類(lèi)新型SiGe微波功率半導(dǎo)體器件與集成電路以及其他特殊用途的硅集成電路的研究開(kāi)發(fā)，并且可以提供MOSMPW(MOS多項(xiàng)目晶圓)服務(wù)。
【師資科研】器件和設(shè)計(jì)實(shí)力強(qiáng)
清華大學(xué)微電子所主要分器件、工藝、設(shè)計(jì)和CAD四個(gè)研究方向。在這四個(gè)研究領(lǐng)域中，該所器件和設(shè)計(jì)實(shí)力強(qiáng)，研究資金豐厚。
器件方向，主要強(qiáng)在理論，其研究方向包括新器件結(jié)構(gòu)與模型、新材料與工藝、新概念與原理，其特點(diǎn)在于新材料和新器件方向結(jié)合、LIGA技術(shù)與傳統(tǒng)IC方向結(jié)合、微納米級(jí)器件設(shè)計(jì)與小尺寸器件模型建立相結(jié)合。微納器件與系統(tǒng)研究室目前由任天令教授主管，研究方向包括MEMS、新型半導(dǎo)體存儲(chǔ)技術(shù)、納電子與自旋電子學(xué)和微納電子技術(shù)新材料等。在MEMS研究方面，器件組是國(guó)內(nèi)惟一重復(fù)出當(dāng)年的靜電微馬達(dá)的科研單位。
工藝方向，包括了研究傳統(tǒng)的CMOS工藝技術(shù)以及一些新型的工藝技術(shù)如數(shù)?；旌瞎に嚨鹊取Ｆ渲械募呻娐烽_(kāi)發(fā)與工業(yè)性試驗(yàn)線由劉志弘教授任主任，該組的主要研究方向是：深亞微米集成電路制造、SiGe技術(shù)、非揮發(fā)性存儲(chǔ)技術(shù)、POWER器件及集成電路，以及集成電路生產(chǎn)自動(dòng)化控制等。
設(shè)計(jì)方向更偏向于工程。在各大高校中，清華的電路設(shè)計(jì)是一流的，與各大公司、研究所以及國(guó)內(nèi)外foundry都有較多的合作，研究課題涉及數(shù)字多媒體、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)及模糊電路、高層次綜合技術(shù)(原大唐總裁魏少軍在這個(gè)方向?yàn)楸贝笄迦A的研究生開(kāi)有任選課)、IC測(cè)試、多媒體VLSI、加密電路及CPU等等。集成電路與系統(tǒng)設(shè)計(jì)研究室由王志華教授領(lǐng)導(dǎo)，研究領(lǐng)域?yàn)榧呻娐放c系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法學(xué)、模擬和射頻集成電路設(shè)計(jì)、通訊集成電路設(shè)計(jì)和高速實(shí)時(shí)信號(hào)處理。
CAD技術(shù)研究室的主任為王燕教授，該組的主要研究方向有：極小尺寸MOS器件輸運(yùn)機(jī)理研究、納米級(jí)量子、電子器件結(jié)構(gòu)和理論分析、微/納米級(jí)器件的CAD軟件研究、微/納米級(jí)新結(jié)構(gòu)器件研究、建庫(kù)方法學(xué)研究和用于SOC存儲(chǔ)器類(lèi)的IP核開(kāi)發(fā)、射頻(RF)電路版圖設(shè)計(jì)的電路提取和驗(yàn)證，以及集成電路制造的計(jì)算機(jī)輔助管理系統(tǒng)(IC-CAM系統(tǒng))研發(fā)等。
【招生信息】
清華研究生微電子所難考的原因，在于他接收的考試生比較少(2007年僅招10人)，而保送生為30～40人。清華大學(xué)在深圳也設(shè)有研究生院，但是一般只培養(yǎng)工程碩士(專(zhuān)業(yè)碩士的一種)。微電子所2007年在北京、深圳兩地招收工程碩士人數(shù)總共為74名。