(三)平衡分析
1．水平衡
水平衡圖見圖5。每天實際耗水量為206 884m3／d，其中新鮮水(自來水)量為4500m3／d，廢水回用量為3424m3／d，循環(huán)水量為198960m3／d。
純水回用率為：(2200+170+170)／4150=61．2％
項目水復(fù)用率為：(2200+170+170+150+150+250+50+284+198960)／(3424+198960+4500)=97．8％
2．物料平衡
本項目在生產(chǎn)過程中使用50多種化學(xué)原料，根據(jù)中芯國際集成電路制造(上海)有限公司的經(jīng)驗，對擬建項目所涉及的主要物料流失在廢水、廢氣及固體廢物和回收廢液中情況進(jìn)行分析。
3．氟平衡
擬建項目氟的投加以無機(jī)氟和有機(jī)氟原料進(jìn)入生產(chǎn)線，根據(jù)使用含氟原料中氟的含量計算氟的投加量，其中無機(jī)氟87 956．62kg／a、有機(jī)氟17 315．9kg／a。項目氟的產(chǎn)出主要以廢氣、廢水、廢渣中氟化物方式流失到環(huán)境中，該項目采取了含氟廢氣洗滌，廢水除氟治理措施，因此大部分的氟以固體廢物排出，主要是以氟化鈣方式排放。生產(chǎn)中有機(jī)氟化物用電漿法將其電離成氟離子，電離率一般5％一20％，其余未電離部分和未用盡的離子氟均進(jìn)入?yún)^(qū)域除害裝置，主要采用是碳纖維吸附，處理效率95％，然后進(jìn)入酸氣洗滌塔，洗滌后排入大氣。氟平衡圖見圖6，氟平衡計算結(jié)果如下：
進(jìn)入廢氣量：855kg／a；
進(jìn)入廢水量：5112．9kg／a：
進(jìn)入廢渣量：生產(chǎn)工藝中含氟廢水、酸堿廢水、含氨廢水處理前總含氟量
84535．2kg／a；處理后進(jìn)入固體廢物的含氟量：79423．2kS／a；
理論值：81 988．7kg／a：
平衡誤差：3．1％。
需要指出的是有機(jī)氟化物經(jīng)電離后(約5％，即865．8kg／a)用于工藝清洗，但最終是先進(jìn)入炭纖維吸附裝置處理后排入酸氣洗滌塔，然后放入大氣，這部分含氟廢棄主要是有機(jī)大分子氟化物，比較穩(wěn)定。帶入廢水中經(jīng)過含氟廢水處理裝置后，排到固體廢棄物中約有95％即16450kg／a，進(jìn)入?yún)^(qū)域除害裝置，由炭纖維劑吸附，這部分固體廢物本廠不作處理，由炭纖維吸附劑專門廠商進(jìn)行回收處理。
4．其他物料平衡
六氟化鎢有85％流失到大氣、水環(huán)境和污泥中；存在鋼瓶(桶)退回原廠的占10％。
異丙醇工藝中使用后，100％流失到大氣、水環(huán)境和廢液中。
氨在工藝中使用量為112129．65kg／a，0．04％流失到大氣中，5．2％流失到廢水中，其余94．76％以(NH3)2504形式流失到廢液中；存在鋼瓶(桶)退回原廠的占10％。
三氧乙基硼有80％流失到大氣、水環(huán)境和污泥中：存在鋼瓶(桶)退回原廠的占3％。
四、環(huán)境影響預(yù)測
(一)評價因子的確定
根據(jù)項目所在地區(qū)的環(huán)境特征和保護(hù)目標(biāo)敏感程度，并參照篩選結(jié)果，選定下列因子作為評價因子：
1．大氣預(yù)測因子
氟化物(HF)、HCl、硫酸霧、C12、NH，、非甲烷總烴和NO。共7項。
2．水評價因子
pH、CODc~、BOD5、SS、F-、NH3--N、TOC牙口AOX共8項。
3．固體廢物評價因子
水處理污泥、生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢溶劑、廢酸、廢異丙醇等物質(zhì)以及生活垃圾等
4．土壤評價因子
砷(As)、硼(B)、氟(F)和鎢(W)共4項。
(二)大氣環(huán)境影響預(yù)測與評價
1．達(dá)標(biāo)分析
根據(jù)本工程主要污染物非甲烷總烴計算，在風(fēng)速為1．5m／s，D穩(wěn)定度下，當(dāng)煙囪排氣筒高度為35．8m時，非甲烷總烴落地濃度為4．3 612gg／m3，滿足參考標(biāo)準(zhǔn)(以色列國家標(biāo)準(zhǔn)總烴的環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)限值)5．0mg／m3的要求。如果按：]：程另一主要污染物HCl計算，在風(fēng)速為]．5m／s，D穩(wěn)定度下，當(dāng)排氣筒高度為35．8m時，HCI落地濃度為2．2 805p．g／m3，滿足《工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》(TJ 36—79)：二級標(biāo)準(zhǔn)中一次允許濃度限值0．05mg／m’的要求。故擬建項目各類廢氣處理裝置排氣筒按35．8m高度設(shè)計符合環(huán)境保護(hù)要求。本項目排放的HF、HCI、硫酸霧、C12、非甲烷總烴和NO。對主要關(guān)心點造成的日平均濃度均達(dá)到相應(yīng)的環(huán)；境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)要求。HF、HCl、硫酸霧、Cl2、。非甲烷總烴和NO。分別占相應(yīng)的環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的0．16％～1．35％、0．29％～2．47％、0.02%~17％、0．01％一0．05％、0．002％～0．023％和0．01％～0．06％。本次環(huán)境影響評價對于監(jiān)測日污染物的日平均濃度分布繪制了濃度分布等值線圖。
2．衛(wèi)生防護(hù)距離
氟化氫衛(wèi)生防護(hù)距離為11．5m。按GB／T 3840---91中規(guī)定，當(dāng)衛(wèi)生防護(hù)距離在100m以內(nèi)時，級差為50m，本評價建議擬建項目衛(wèi)生防護(hù)距離為50m。并在廠界周邊50m范圍內(nèi)，密集種植高大喬木與低矮灌木、草地相結(jié)合的封閉綠化隔離帶，一方面是非常好的綠化措施，同時也是防范環(huán)境風(fēng)險與環(huán)境安全的最簡捷、有效措施。
目前本項目與最近的學(xué)校、居民區(qū)和公園即北工大實驗學(xué)院、旭東房地產(chǎn)的距離
都存50m以卜，因此現(xiàn)有本項目區(qū)域位置設(shè)置可以滿足本工程衛(wèi)生防護(hù)距離要求。
(三)水環(huán)境影響預(yù)測
1．水污染源環(huán)境影響預(yù)測
本項目各個生產(chǎn)工藝廢水處理單元設(shè)施排水量合計為3 047m3／d：生產(chǎn)輔助設(shè)施(冷卻塔循環(huán)廢水)排水量為434m3／d；生活污水為185m3／d。全廠廢水總放量為(一期)，于2002年初建成投入運行，目前實際日平均污水處理量約1．6萬t，尚有了定的富裕處理能力。根據(jù)規(guī)劃，到2004年建成規(guī)模為2萬m3／d的二期處理廠。二期建成后處理污水總規(guī)?？蛇_(dá)4萬m’／d。2010年遠(yuǎn)期規(guī)劃為10萬m’／d。本項目排水量雖較大，每日約為3666m，，但僅為屆時開發(fā)區(qū)污水處理廠總處理量4萬m3／d的9.2%。因此，開發(fā)區(qū)污水處理場在處理水量上時可以接受的。
2．用水來源保證性分析
北京屬資源性缺水城市，降水時空分布極不均勻，水資源先天不足。隨著工業(yè)高速發(fā)展、城市人口急劇增加、建設(shè)規(guī)模不斷擴(kuò)大，用水量增長過快。根據(jù)水利部門統(tǒng)計數(shù)據(jù)，由于上游地區(qū)用水增加及近年來干旱少雨，作為北京主要地表水源的密云、官廳兩大水庫的來水呈衰減趨勢，由1950、1960年代的30多億m3／a銳減到目前的10億m3／a左右(密云水庫約7．8億m3／a、官廳水庫約2．2億m3／a)。長期以來，用水需求已經(jīng)超過了當(dāng)?shù)厮Y源的承載能力和環(huán)境容量，造成大部分地區(qū)地F水超采，除大興區(qū)外，全市地下水埋深下降1—5m。目前，全市水資源日消耗水量約160萬m，、開發(fā)區(qū)總設(shè)計供水指標(biāo)12萬m3／d，實際日消耗水量約3萬m3。本項目日用新鮮水量為4500m，，約占全市水資源日消耗量的0．3％，占目前開發(fā)區(qū)水資源日消耗量的13％，屬于用水大戶。雖然根據(jù)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)管委會“關(guān)于北京中芯環(huán)球半導(dǎo)體項目用水供應(yīng)的承諾”和開發(fā)區(qū)設(shè)計供水指標(biāo)，本項目用水能夠得到保證供應(yīng)，但為了保持可持續(xù)發(fā)展，必須進(jìn)一步挖掘水資源的綜合利用的能力。
3．環(huán)境風(fēng)險分析
環(huán)境風(fēng)險分析是編制生產(chǎn)或使用大量化學(xué)品項目環(huán)境影響報告書的重要組成部分環(huán)境風(fēng)險事故雖然發(fā)生的幾率極小，但其危害極大，對環(huán)境造成的污染，對國家財產(chǎn)和人民生命財產(chǎn)造成的損失相當(dāng)嚴(yán)重。
本項目在生產(chǎn)加工過程中需要使用大量化學(xué)晶，其中52種主要原輔材料中屬于危險化學(xué)晶的有25種，基本可以分為腐蝕性、易燃晶、有毒氣體及毒害品等4大類。這些化學(xué)品在正常使用過程中經(jīng)過一定的化學(xué)反應(yīng)和處理后排放，一般對周圍環(huán)境和人體造成的影響可以控制在允許范圍內(nèi)；但是如果發(fā)生泄漏或報警系統(tǒng)失靈產(chǎn)生事故時，就有可能產(chǎn)生意想不到的事故，腐蝕性化學(xué)品泄漏會對周圍環(huán)境和人員造成腐蝕污染，同時會影響周圍空氣環(huán)境質(zhì)量，嚴(yán)重時會危及人們生命；易燃?xì)怏w或液體泄漏可能造成火災(zāi)或爆炸：有毒氣體泄漏會直接影響到周圍地區(qū)人員的健康直至生命安全，毒害品管理不嚴(yán)可能會直接威脅人們的生命以及社會的穩(wěn)定等。因此，當(dāng)生產(chǎn)的控制系統(tǒng)發(fā)生故障或產(chǎn)生突發(fā)事故時，系統(tǒng)中的易燃物和有毒物所引的爆炸、火災(zāi)或超常量排放，都可能造成環(huán)境污染事故。
參照國家環(huán)境保護(hù)局有毒化學(xué)品管理辦公室和化工部北京化工研究院環(huán)境保護(hù)研究所編的“化學(xué)晶毒性法規(guī)環(huán)境數(shù)據(jù)手冊”和相關(guān)的資料進(jìn)行風(fēng)險識別。
中芯國際集成電路制造(北京)有限公司生產(chǎn)過程中使用的部分化學(xué)原料為有毒有害、易燃、腐蝕性物質(zhì)，分屬于第2。1類易燃?xì)怏w、第2．3類有毒氣體：第3．1、
2 類易燃液體：第6.1類毒害品和第8．1、8．2類腐蝕晶。這些化學(xué)晶在使用、管理和運輸過程中均存在一定的風(fēng)險。因此，本項目潛在的危害事故主要表現(xiàn)在易燃?xì)怏w的泄露引起的爆炸和火災(zāi)事故，有毒氣體泄漏造成的環(huán)境污染以及腐蝕品泄漏對環(huán)境造成的危害等方面。
1．水平衡
水平衡圖見圖5。每天實際耗水量為206 884m3／d，其中新鮮水(自來水)量為4500m3／d，廢水回用量為3424m3／d，循環(huán)水量為198960m3／d。
純水回用率為：(2200+170+170)／4150=61．2％
項目水復(fù)用率為：(2200+170+170+150+150+250+50+284+198960)／(3424+198960+4500)=97．8％
2．物料平衡
本項目在生產(chǎn)過程中使用50多種化學(xué)原料，根據(jù)中芯國際集成電路制造(上海)有限公司的經(jīng)驗，對擬建項目所涉及的主要物料流失在廢水、廢氣及固體廢物和回收廢液中情況進(jìn)行分析。
3．氟平衡
擬建項目氟的投加以無機(jī)氟和有機(jī)氟原料進(jìn)入生產(chǎn)線，根據(jù)使用含氟原料中氟的含量計算氟的投加量，其中無機(jī)氟87 956．62kg／a、有機(jī)氟17 315．9kg／a。項目氟的產(chǎn)出主要以廢氣、廢水、廢渣中氟化物方式流失到環(huán)境中，該項目采取了含氟廢氣洗滌，廢水除氟治理措施，因此大部分的氟以固體廢物排出，主要是以氟化鈣方式排放。生產(chǎn)中有機(jī)氟化物用電漿法將其電離成氟離子，電離率一般5％一20％，其余未電離部分和未用盡的離子氟均進(jìn)入?yún)^(qū)域除害裝置，主要采用是碳纖維吸附，處理效率95％，然后進(jìn)入酸氣洗滌塔，洗滌后排入大氣。氟平衡圖見圖6，氟平衡計算結(jié)果如下：
進(jìn)入廢氣量：855kg／a；
進(jìn)入廢水量：5112．9kg／a：
進(jìn)入廢渣量：生產(chǎn)工藝中含氟廢水、酸堿廢水、含氨廢水處理前總含氟量
84535．2kg／a；處理后進(jìn)入固體廢物的含氟量：79423．2kS／a；
理論值：81 988．7kg／a：
平衡誤差：3．1％。
需要指出的是有機(jī)氟化物經(jīng)電離后(約5％，即865．8kg／a)用于工藝清洗，但最終是先進(jìn)入炭纖維吸附裝置處理后排入酸氣洗滌塔，然后放入大氣，這部分含氟廢棄主要是有機(jī)大分子氟化物，比較穩(wěn)定。帶入廢水中經(jīng)過含氟廢水處理裝置后，排到固體廢棄物中約有95％即16450kg／a，進(jìn)入?yún)^(qū)域除害裝置，由炭纖維劑吸附，這部分固體廢物本廠不作處理，由炭纖維吸附劑專門廠商進(jìn)行回收處理。
4．其他物料平衡
六氟化鎢有85％流失到大氣、水環(huán)境和污泥中；存在鋼瓶(桶)退回原廠的占10％。
異丙醇工藝中使用后，100％流失到大氣、水環(huán)境和廢液中。
氨在工藝中使用量為112129．65kg／a，0．04％流失到大氣中，5．2％流失到廢水中，其余94．76％以(NH3)2504形式流失到廢液中；存在鋼瓶(桶)退回原廠的占10％。
三氧乙基硼有80％流失到大氣、水環(huán)境和污泥中：存在鋼瓶(桶)退回原廠的占3％。
四、環(huán)境影響預(yù)測
(一)評價因子的確定
根據(jù)項目所在地區(qū)的環(huán)境特征和保護(hù)目標(biāo)敏感程度，并參照篩選結(jié)果，選定下列因子作為評價因子：
1．大氣預(yù)測因子
氟化物(HF)、HCl、硫酸霧、C12、NH，、非甲烷總烴和NO。共7項。
2．水評價因子
pH、CODc~、BOD5、SS、F-、NH3--N、TOC牙口AOX共8項。
3．固體廢物評價因子
水處理污泥、生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢溶劑、廢酸、廢異丙醇等物質(zhì)以及生活垃圾等
4．土壤評價因子
砷(As)、硼(B)、氟(F)和鎢(W)共4項。
(二)大氣環(huán)境影響預(yù)測與評價
1．達(dá)標(biāo)分析
根據(jù)本工程主要污染物非甲烷總烴計算，在風(fēng)速為1．5m／s，D穩(wěn)定度下，當(dāng)煙囪排氣筒高度為35．8m時，非甲烷總烴落地濃度為4．3 612gg／m3，滿足參考標(biāo)準(zhǔn)(以色列國家標(biāo)準(zhǔn)總烴的環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)限值)5．0mg／m3的要求。如果按：]：程另一主要污染物HCl計算，在風(fēng)速為]．5m／s，D穩(wěn)定度下，當(dāng)排氣筒高度為35．8m時，HCI落地濃度為2．2 805p．g／m3，滿足《工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》(TJ 36—79)：二級標(biāo)準(zhǔn)中一次允許濃度限值0．05mg／m’的要求。故擬建項目各類廢氣處理裝置排氣筒按35．8m高度設(shè)計符合環(huán)境保護(hù)要求。本項目排放的HF、HCI、硫酸霧、C12、非甲烷總烴和NO。對主要關(guān)心點造成的日平均濃度均達(dá)到相應(yīng)的環(huán)；境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)要求。HF、HCl、硫酸霧、Cl2、。非甲烷總烴和NO。分別占相應(yīng)的環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的0．16％～1．35％、0．29％～2．47％、0.02%~17％、0．01％一0．05％、0．002％～0．023％和0．01％～0．06％。本次環(huán)境影響評價對于監(jiān)測日污染物的日平均濃度分布繪制了濃度分布等值線圖。
2．衛(wèi)生防護(hù)距離
氟化氫衛(wèi)生防護(hù)距離為11．5m。按GB／T 3840---91中規(guī)定，當(dāng)衛(wèi)生防護(hù)距離在100m以內(nèi)時，級差為50m，本評價建議擬建項目衛(wèi)生防護(hù)距離為50m。并在廠界周邊50m范圍內(nèi)，密集種植高大喬木與低矮灌木、草地相結(jié)合的封閉綠化隔離帶，一方面是非常好的綠化措施，同時也是防范環(huán)境風(fēng)險與環(huán)境安全的最簡捷、有效措施。
目前本項目與最近的學(xué)校、居民區(qū)和公園即北工大實驗學(xué)院、旭東房地產(chǎn)的距離
都存50m以卜，因此現(xiàn)有本項目區(qū)域位置設(shè)置可以滿足本工程衛(wèi)生防護(hù)距離要求。
(三)水環(huán)境影響預(yù)測
1．水污染源環(huán)境影響預(yù)測
本項目各個生產(chǎn)工藝廢水處理單元設(shè)施排水量合計為3 047m3／d：生產(chǎn)輔助設(shè)施(冷卻塔循環(huán)廢水)排水量為434m3／d；生活污水為185m3／d。全廠廢水總放量為(一期)，于2002年初建成投入運行，目前實際日平均污水處理量約1．6萬t，尚有了定的富裕處理能力。根據(jù)規(guī)劃，到2004年建成規(guī)模為2萬m3／d的二期處理廠。二期建成后處理污水總規(guī)?？蛇_(dá)4萬m’／d。2010年遠(yuǎn)期規(guī)劃為10萬m’／d。本項目排水量雖較大，每日約為3666m，，但僅為屆時開發(fā)區(qū)污水處理廠總處理量4萬m3／d的9.2%。因此，開發(fā)區(qū)污水處理場在處理水量上時可以接受的。
2．用水來源保證性分析
北京屬資源性缺水城市，降水時空分布極不均勻，水資源先天不足。隨著工業(yè)高速發(fā)展、城市人口急劇增加、建設(shè)規(guī)模不斷擴(kuò)大，用水量增長過快。根據(jù)水利部門統(tǒng)計數(shù)據(jù)，由于上游地區(qū)用水增加及近年來干旱少雨，作為北京主要地表水源的密云、官廳兩大水庫的來水呈衰減趨勢，由1950、1960年代的30多億m3／a銳減到目前的10億m3／a左右(密云水庫約7．8億m3／a、官廳水庫約2．2億m3／a)。長期以來，用水需求已經(jīng)超過了當(dāng)?shù)厮Y源的承載能力和環(huán)境容量，造成大部分地區(qū)地F水超采，除大興區(qū)外，全市地下水埋深下降1—5m。目前，全市水資源日消耗水量約160萬m，、開發(fā)區(qū)總設(shè)計供水指標(biāo)12萬m3／d，實際日消耗水量約3萬m3。本項目日用新鮮水量為4500m，，約占全市水資源日消耗量的0．3％，占目前開發(fā)區(qū)水資源日消耗量的13％，屬于用水大戶。雖然根據(jù)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)管委會“關(guān)于北京中芯環(huán)球半導(dǎo)體項目用水供應(yīng)的承諾”和開發(fā)區(qū)設(shè)計供水指標(biāo)，本項目用水能夠得到保證供應(yīng)，但為了保持可持續(xù)發(fā)展，必須進(jìn)一步挖掘水資源的綜合利用的能力。
3．環(huán)境風(fēng)險分析
環(huán)境風(fēng)險分析是編制生產(chǎn)或使用大量化學(xué)品項目環(huán)境影響報告書的重要組成部分環(huán)境風(fēng)險事故雖然發(fā)生的幾率極小，但其危害極大，對環(huán)境造成的污染，對國家財產(chǎn)和人民生命財產(chǎn)造成的損失相當(dāng)嚴(yán)重。
本項目在生產(chǎn)加工過程中需要使用大量化學(xué)晶，其中52種主要原輔材料中屬于危險化學(xué)晶的有25種，基本可以分為腐蝕性、易燃晶、有毒氣體及毒害品等4大類。這些化學(xué)品在正常使用過程中經(jīng)過一定的化學(xué)反應(yīng)和處理后排放，一般對周圍環(huán)境和人體造成的影響可以控制在允許范圍內(nèi)；但是如果發(fā)生泄漏或報警系統(tǒng)失靈產(chǎn)生事故時，就有可能產(chǎn)生意想不到的事故，腐蝕性化學(xué)品泄漏會對周圍環(huán)境和人員造成腐蝕污染，同時會影響周圍空氣環(huán)境質(zhì)量，嚴(yán)重時會危及人們生命；易燃?xì)怏w或液體泄漏可能造成火災(zāi)或爆炸：有毒氣體泄漏會直接影響到周圍地區(qū)人員的健康直至生命安全，毒害品管理不嚴(yán)可能會直接威脅人們的生命以及社會的穩(wěn)定等。因此，當(dāng)生產(chǎn)的控制系統(tǒng)發(fā)生故障或產(chǎn)生突發(fā)事故時，系統(tǒng)中的易燃物和有毒物所引的爆炸、火災(zāi)或超常量排放，都可能造成環(huán)境污染事故。
參照國家環(huán)境保護(hù)局有毒化學(xué)品管理辦公室和化工部北京化工研究院環(huán)境保護(hù)研究所編的“化學(xué)晶毒性法規(guī)環(huán)境數(shù)據(jù)手冊”和相關(guān)的資料進(jìn)行風(fēng)險識別。
中芯國際集成電路制造(北京)有限公司生產(chǎn)過程中使用的部分化學(xué)原料為有毒有害、易燃、腐蝕性物質(zhì)，分屬于第2。1類易燃?xì)怏w、第2．3類有毒氣體：第3．1、
2 類易燃液體：第6.1類毒害品和第8．1、8．2類腐蝕晶。這些化學(xué)晶在使用、管理和運輸過程中均存在一定的風(fēng)險。因此，本項目潛在的危害事故主要表現(xiàn)在易燃?xì)怏w的泄露引起的爆炸和火災(zāi)事故，有毒氣體泄漏造成的環(huán)境污染以及腐蝕品泄漏對環(huán)境造成的危害等方面。