從上世紀(jì)90年代后期逐步熱起來(lái)的微電子專業(yè),目前依然熱度不減。各大高校順應(yīng)微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展需要,紛紛成立獨(dú)立的微電子系和學(xué)院,開辦了許多與集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)系密切的二級(jí)學(xué)院(如北京大學(xué)的軟件與微電子學(xué)院、電子科技大學(xué)成都學(xué)院等等)。以下將介紹國(guó)內(nèi)數(shù)所開設(shè)有微電子研招專業(yè)的院校,以及它們的研究方向,供參考。
北京大學(xué)微電子學(xué)系
國(guó)家大力支持的重點(diǎn)學(xué)科點(diǎn)
北京大學(xué)微電子學(xué)系,又稱微電子學(xué)研究所(院),有著源遠(yuǎn)流長(zhǎng)的學(xué)術(shù)傳統(tǒng)。1956年,由物理學(xué)家黃昆院士在北大物理系領(lǐng)導(dǎo)創(chuàng)建了我國(guó)第一個(gè)半導(dǎo)體專業(yè)機(jī)構(gòu),之后在我國(guó)微電子專家王陽(yáng)元院士的帶領(lǐng)下,北京大學(xué)微電子學(xué)系發(fā)展成為我國(guó)培養(yǎng)高水平微電子人才的一個(gè)重要基地,是國(guó)家的重點(diǎn)學(xué)科點(diǎn)。
【硬件環(huán)境】三大重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室國(guó)內(nèi)
北大微電子學(xué)系有著國(guó)內(nèi)一流的科研硬件設(shè)施,有微米/納米加工技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、北方微電子研究開發(fā)基地新工藝新器件新結(jié)構(gòu)電路國(guó)家計(jì)委專項(xiàng)實(shí)驗(yàn)室、北京市軟硬件協(xié)同設(shè)計(jì)高科技實(shí)驗(yàn)室三大重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,還有MPW(多項(xiàng)目晶圓)中心平臺(tái)。
【師資科研】科研小組特色明顯
北大微電子所下設(shè)SOI、SOC、ASIC、MPW中心、MEMS、新器件、可測(cè)性、寬禁帶、納太器件等多個(gè)研究小組。所長(zhǎng)王陽(yáng)元院士是中國(guó)微電子產(chǎn)業(yè)的奠基人之一,目前出任中芯國(guó)際的董事長(zhǎng)。
SOI研究組的研究領(lǐng)域有SOI技術(shù)、納米量級(jí)新結(jié)構(gòu)器件及制備工藝技術(shù),以及射頻電路技術(shù)。黃如教授是北京市優(yōu)秀教師,目前為IEEE EDS(Electron Device Society)和ADCOM (Administrative Committee)的成員,主要科研方向是SOI,但同時(shí)也指導(dǎo)學(xué)生進(jìn)行射頻方面的研究。廖懷林教授專門從事RF電路方面的研究,功底深厚。該研究組掌握了國(guó)內(nèi)科研界先進(jìn)的加工技術(shù)(流片基本上采用0.13微米工藝),研究生博士生已有多篇文章發(fā)表在國(guó)際高水平刊物上。
SOC研究組在敦山教授領(lǐng)導(dǎo)下,擁有北京大學(xué)-安捷倫科技SOC測(cè)試教育中心和北京大學(xué)-安捷倫科技SOC測(cè)試工程中心兩大平臺(tái)。于老師雖然是研究微處理器,但在系統(tǒng)方面也有很深的造詣。
重視工藝是北大微電子所的傳統(tǒng),所里不少老師是學(xué)物理出身的,對(duì)于器件工藝十分重視,再加上先進(jìn)的微米/納米加工條件,因此該所的微電子器件加工工藝一直保持著國(guó)內(nèi)水平。
新器件組在劉曉彥、康晉鋒兩位教授的帶領(lǐng)下,主要進(jìn)行新型半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)、材料、工藝、模型、模擬等方面的研究。他們成功研制了多種新結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體器件,在超精細(xì)柵、新型金屬柵和高K柵介質(zhì)結(jié)構(gòu)、制備工藝、可靠性、高速互聯(lián)方面都取得了一系列創(chuàng)新成果。在器件的模型、蒙特卡羅模擬以及新型存儲(chǔ)器方面的研究都堪稱一流。
MPW是近兩年新成立的一個(gè)研究組,是依托北大微電學(xué)研究院的技術(shù)力量建立的一個(gè)服務(wù)于各高校、科研、企業(yè)的平臺(tái),目前由盛世敏教授和張鋼剛教授指導(dǎo)學(xué)生開展工作。盛教授是當(dāng)年王院士的同事,也是北大微電子所的奠基人之一。MPW組的研究生,有從事數(shù)電、模電工作的,也有從事ADC、提取參數(shù)、建立模型庫(kù)方面工作的。
MEMS組是目前北大微電子所里規(guī)模大的一個(gè)組,有RFMEMS、MEMS陀螺、微流體芯片、生物MEMS、NEMS等多個(gè)研究方向。北大MEMS組的加工工藝在國(guó)內(nèi)高校,組內(nèi)的李志宏教授、張大成教授等多位老師對(duì)工藝有很深的研究。李志宏教授是MEMS研究所所長(zhǎng),在RFMEMS和微流體芯片方面都有研究;閆桂珍教授是國(guó)內(nèi)MEMS陀螺研究方面的權(quán)威;張大成教授對(duì)微電子IC工藝和MEMS工藝都有豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),同時(shí)也是微米/納米加工實(shí)驗(yàn)室的負(fù)責(zé)人。該組的“基于MEMS 技術(shù)及應(yīng)用研究”曾獲得2006年度國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng),是北京大學(xué)第以“第一完成人單位”獲得的國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)。
【招生信息】
北大微電子學(xué)專業(yè)2007年招收碩士生105人,其中校本部25人,深圳研究生院80人。從今年開始,沒(méi)有達(dá)到微電子專業(yè)分?jǐn)?shù)線的考生,只要過(guò)了北大研考理學(xué)類總分?jǐn)?shù)線的都可以轉(zhuǎn)報(bào)微電子工程碩士,工程碩士招生總?cè)藬?shù)為100人。
清華大學(xué)微電子所
全國(guó)微電子學(xué)領(lǐng)域首個(gè)重點(diǎn)學(xué)科點(diǎn)
清華大學(xué)微電子學(xué)研究所成立于1980年9月,第一任所長(zhǎng)由全國(guó)半導(dǎo)體物理學(xué)家、中科院院士李志堅(jiān)擔(dān)任。該所是國(guó)家重點(diǎn)支持的北方微電子研究開發(fā)基地的主要組成單位,是高素質(zhì)微納電子科技人才的培養(yǎng)基地,1988年被定為全國(guó)微電子學(xué)領(lǐng)域第一個(gè)重點(diǎn)學(xué)科點(diǎn)。
【硬件環(huán)境】?jī)蓷l集成電路工藝加工線
清華大學(xué)微米/納米技術(shù)研究中心擁有一條4英寸1微米級(jí)集成電路工藝線,具有完備的MEMS加工技術(shù)與設(shè)備,主要用于加工與MEMS器件相關(guān)的項(xiàng)目流片。另外還有一條集成電路開發(fā)與工業(yè)性試驗(yàn)線,主要進(jìn)行各類新型SiGe微波功率半導(dǎo)體器件與集成電路以及其他特殊用途的硅集成電路的研究開發(fā),并且可以提供MOSMPW(MOS多項(xiàng)目晶圓)服務(wù)。
【師資科研】器件和設(shè)計(jì)實(shí)力強(qiáng)
清華大學(xué)微電子所主要分器件、工藝、設(shè)計(jì)和CAD四個(gè)研究方向。在這四個(gè)研究領(lǐng)域中,該所器件和設(shè)計(jì)實(shí)力強(qiáng),研究資金豐厚。
器件方向,主要強(qiáng)在理論,其研究方向包括新器件結(jié)構(gòu)與模型、新材料與工藝、新概念與原理,其特點(diǎn)在于新材料和新器件方向結(jié)合、LIGA技術(shù)與傳統(tǒng)IC方向結(jié)合、微納米級(jí)器件設(shè)計(jì)與小尺寸器件模型建立相結(jié)合。微納器件與系統(tǒng)研究室目前由任天令教授主管,研究方向包括MEMS、新型半導(dǎo)體存儲(chǔ)技術(shù)、納電子與自旋電子學(xué)和微納電子技術(shù)新材料等。在MEMS研究方面,器件組是國(guó)內(nèi)惟一重復(fù)出當(dāng)年的靜電微馬達(dá)的科研單位。
工藝方向,包括了研究傳統(tǒng)的CMOS工藝技術(shù)以及一些新型的工藝技術(shù)如數(shù)模混合工藝等等。其中的集成電路開發(fā)與工業(yè)性試驗(yàn)線由劉志弘教授任主任,該組的主要研究方向是:深亞微米集成電路制造、SiGe技術(shù)、非揮發(fā)性存儲(chǔ)技術(shù)、POWER器件及集成電路,以及集成電路生產(chǎn)自動(dòng)化控制等。
設(shè)計(jì)方向更偏向于工程。在各大高校中,清華的電路設(shè)計(jì)是一流的,與各大公司、研究所以及國(guó)內(nèi)外foundry都有較多的合作,研究課題涉及數(shù)字多媒體、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)及模糊電路、高層次綜合技術(shù)(原大唐總裁魏少軍在這個(gè)方向?yàn)楸贝笄迦A的研究生開有任選課)、IC測(cè)試、多媒體VLSI、加密電路及CPU等等。集成電路與系統(tǒng)設(shè)計(jì)研究室由王志華教授領(lǐng)導(dǎo),研究領(lǐng)域?yàn)榧呻娐放c系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法學(xué)、模擬和射頻集成電路設(shè)計(jì)、通訊集成電路設(shè)計(jì)和高速實(shí)時(shí)信號(hào)處理。
CAD技術(shù)研究室的主任為王燕教授,該組的主要研究方向有:極小尺寸MOS器件輸運(yùn)機(jī)理研究、納米級(jí)量子、電子器件結(jié)構(gòu)和理論分析、微/納米級(jí)器件的CAD軟件研究、微/納米級(jí)新結(jié)構(gòu)器件研究、建庫(kù)方法學(xué)研究和用于SOC存儲(chǔ)器類的IP核開發(fā)、射頻(RF)電路版圖設(shè)計(jì)的電路提取和驗(yàn)證,以及集成電路制造的計(jì)算機(jī)輔助管理系統(tǒng)(IC-CAM系統(tǒng))研發(fā)等。
【招生信息】
清華研究生微電子所難考的原因,在于他接收的考試生比較少(2007年僅招10人),而保送生為30~40人。清華大學(xué)在深圳也設(shè)有研究生院,但是一般只培養(yǎng)工程碩士(專業(yè)碩士的一種)。微電子所2007年在北京、深圳兩地招收工程碩士人數(shù)總共為74名。
中科院微電子所、微系統(tǒng)所和半導(dǎo)體所
以研究員為科研主力
中科院和微電子領(lǐng)域關(guān)系密切的研究所有3個(gè):微電子所、半導(dǎo)體所和微系統(tǒng)所,這3個(gè)所的師資、資金實(shí)力在國(guó)內(nèi)同行中處于水平。
微電子所:核心設(shè)備國(guó)內(nèi)一流
中科院微電子所的核心設(shè)備是一流的,它有一條用于0.8微米IC工藝研究的實(shí)驗(yàn)線,“高密度等離子體刻蝕機(jī)和大角度離子注入機(jī)”為國(guó)家“863”集成電路裝備重大專項(xiàng);微細(xì)加工與納米技術(shù)實(shí)驗(yàn)室裝備了分辨率30nm的JEOL JBX-5000LS電子束光刻系統(tǒng),分辨率0.35u的MEBES 4500電子束制版系統(tǒng)以及和微細(xì)加工有關(guān)的反應(yīng)離子刻蝕機(jī)、電子束鍍膜系統(tǒng)、光學(xué)制版系統(tǒng)、LPCVD以及JBX-6A2電子束制版系統(tǒng)。在北京地區(qū),目前惟一能做電子束光刻的科研單位就是微電子所。
該所目前共有7個(gè)研究室,分別為硅器件與集成技術(shù)、專用集成電路與系統(tǒng)、微細(xì)加工與納米技術(shù)、微波器件與集成電路、通訊與多媒體SOC、電子系統(tǒng)技術(shù)和總體電子設(shè)計(jì)平臺(tái)與共性技術(shù)。各個(gè)研究室的研究方向基本涵蓋了器件電路設(shè)計(jì)開發(fā)的各塊領(lǐng)域,互補(bǔ)而又不沖突,相互之間的師資分配也很合理。
【招生信息】
微電子所2007年計(jì)劃招生43人。據(jù)相關(guān)老師介紹,2008年微電子所要爭(zhēng)取碩士招生人數(shù)達(dá)到60人。
微系統(tǒng)所:兩室五組,科研領(lǐng)域廣
中科院微系統(tǒng)所擁有:傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室與微系統(tǒng)技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(隸屬M(fèi)EMS組)、信息功能材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(隸屬材料組)。
微系統(tǒng)所主要有5個(gè)研究組:王躍林教授的MEMS組,下有微系統(tǒng)工藝平臺(tái)和微系統(tǒng)封裝平臺(tái),研究方向包括MEMS傳感器和執(zhí)行器技術(shù)研究、光通信微系統(tǒng)研究、生物芯片等;宋志棠的材料組,擁有化合物半導(dǎo)體器件工藝平臺(tái)和納米半導(dǎo)體薄膜材料加工測(cè)試平臺(tái),主要研究相變存儲(chǔ)器、光電子和微波材料與器件、太赫茲半導(dǎo)體器件和物理;另外3個(gè)組是SOI組、無(wú)線組和能源(電池)組。
除了這5個(gè)主要的研究組外,還有兩個(gè)單獨(dú)的課題組是RF和DNA。微系統(tǒng)所在科研成果的產(chǎn)業(yè)化方面很有特色,在不久前揭曉的國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)評(píng)選中,該所的“高端硅基SOI材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目獲2006年度國(guó)家科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。
微系統(tǒng)所的一個(gè)大特點(diǎn)在于研究涉及的領(lǐng)域很廣,各個(gè)研究室之間相對(duì)獨(dú)立而又不乏合作。整個(gè)微系統(tǒng)所是一個(gè)很完善的系統(tǒng),部門之間又有EDA與網(wǎng)絡(luò)信息中心作為公共支撐。該所給學(xué)生提供的助研金比較多,差不多是其他科研院所的兩倍,甚至其碩士生的助研金比別的單位的博士生都高。
【招生信息】
微系統(tǒng)所每年招生75人左右,其中大部分在微電子與固體電子學(xué)(47人)和通信與信息系統(tǒng)(20人),畢業(yè)生主要就業(yè)方向是國(guó)內(nèi)外的大公司,如AGILENT、華為等。
半導(dǎo)體所:主要研究物理器件
微電子專業(yè)初是從半導(dǎo)體專業(yè)中分離出來(lái)的,目前的中科院半導(dǎo)體所依然保留有微電子研究和發(fā)展中心,該中心主要從事同微電子相關(guān)的半導(dǎo)體器件和電路的研究,包括抗輻射CMOS/SOS及CMOS/SOI集成電路、SiC高溫半導(dǎo)體器件、微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)、磁存儲(chǔ)器(MRAM)、共振隧穿二極管(RTD)和系統(tǒng)集成芯片(SOC)設(shè)計(jì)及應(yīng)用。可以看出,半導(dǎo)體所的主要優(yōu)勢(shì)在于深厚的物理理論基礎(chǔ),主要研究領(lǐng)域還是器件方向,擅長(zhǎng)半導(dǎo)體光電子和微電子器件。
半導(dǎo)體所微電子中心每年招收的研究生不多,但畢業(yè)去向都很不錯(cuò),主要去向?yàn)閲?guó)內(nèi)外知名公司,成為如北京華虹NEC、上海先進(jìn)半導(dǎo)體等公司的IC設(shè)計(jì)部門的技術(shù)骨干。
電子科技大學(xué)微電子與固體電子學(xué)院
排頭兵中的尖兵
電子科技大學(xué)位于具有“天府之國(guó)”美譽(yù)的成都,是“211”和“985”之一,在2006年中國(guó)高校國(guó)際學(xué)術(shù)會(huì)議排名中名列第四,被譽(yù)為“我國(guó)電子類院校的排頭兵”。其微電子與固體電子學(xué)院擁有一支以中科院院士陳星弼領(lǐng)銜的包括16名博士生導(dǎo)師、27名教授在內(nèi)的雄厚師資力量,與國(guó)內(nèi)外相關(guān)公司、高校和研究機(jī)構(gòu)有著廣泛的合作關(guān)系。
【硬件環(huán)境】新建FAB工藝線
電子科大微固學(xué)院的硬件設(shè)施相當(dāng)不錯(cuò),有國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室電子薄膜與集成器件實(shí)驗(yàn)室、集成電路設(shè)計(jì)中心和納米技術(shù)中心,還有新建成的FAB工藝線——微細(xì)加工基地(6英寸,線寬為0.35um)。
【師資科研】功率器件和功率電路研究突出
電子科大微電子專業(yè)主要的特色在功率器件和功率電路方面,科研方向主要有功率器件與智能功率集成電路、微電子器件與集成電路、ULSI集成電路設(shè)計(jì)/ASIC設(shè)計(jì)與應(yīng)用。功率器件與智能功率集成電路方向,由陳星弼院士和張波教授分別領(lǐng)導(dǎo)的小組研究,但側(cè)重點(diǎn)有所不同:陳院士的科研小組主要研究功率器件、功率電路、電源管理和相關(guān)的一些模擬電路;張波教授科研小組的研究方向有電源管理(功率器件+功率電路)和功率器件(傳統(tǒng)硅基器件以及新材料比如SiC基的功率器件)。微電子器件與集成電路方向在年輕的于奇教授的帶領(lǐng)下,主要集中開發(fā)模擬電路,也有鍺硅器件、ADDC等研究方向。李平教授近年來(lái)的研究項(xiàng)目有電源管理、汽車電子、單片機(jī)芯片設(shè)計(jì)、鐵電存儲(chǔ)器、FPGA等,更集中于數(shù)電。
【招生信息】
微電子專業(yè)近兩年的招生人數(shù)保持在110人左右,其中保送生約占15%。報(bào)考該專業(yè)的考生,如果發(fā)揮不好,則有優(yōu)先權(quán)可以轉(zhuǎn)到固體電子專業(yè),另外也可以轉(zhuǎn)到工程碩士的集成電路方向,相應(yīng)的錄取分?jǐn)?shù)線可以降低60~70分。據(jù)悉,近兩年轉(zhuǎn)到集成電路方向的學(xué)生比較多。
東南大學(xué)射光所和微電子所
優(yōu)勢(shì)互補(bǔ),各有所長(zhǎng)
東南大學(xué)的微電子研究比較特殊,既有以射頻聞名的射光所,又有在MEMS方向頗具實(shí)力的微電子所。射光所下屬于在無(wú)線電系,而微電子所則下屬于電子工程系。兩個(gè)研究所各有所長(zhǎng),優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)。
射光所:國(guó)內(nèi)知名的高技術(shù)研究中心
射光所,即射頻光電集成電路研究所,是由教育部和東南大學(xué)在1997年聯(lián)合籌建的高技術(shù)研究所,屬“211”工程項(xiàng)目。在國(guó)家教育部、科技部等有關(guān)方面的支持下,如今已發(fā)展成為國(guó)內(nèi)外知名的射頻與超高速光電集成電路人才培養(yǎng)和高技術(shù)研究中心。
東南射光所的前任所長(zhǎng),同時(shí)也是創(chuàng)建人的王志功教授,是從德國(guó)歸國(guó)工作的微電子光電子專家,在國(guó)內(nèi)射頻和光電集成電路方面的造詣,在學(xué)術(shù)界也享有盛名。
射光所的主要研究方向包括射頻集成電路、微波毫米波集成電路、光電集成電路、光纖通信集成電路、ULSI、生物用集成電路等等。射頻集成電路方向主要由李智群博士負(fù)責(zé),研究?jī)?nèi)容包括移動(dòng)通信及無(wú)線接入系統(tǒng)用射頻集成電路,包括低噪聲放大器、混頻器、振蕩器、功率放大器等。微波毫米波集成電路設(shè)計(jì)方向由王志功教授親自負(fù)責(zé),研究?jī)?nèi)容涉及HEMT移相器、GaAs HBT 壓控振蕩器和單片集成電路上的關(guān)鍵元件的研究等。光電集成電路方向,是射光所的一大特色,主要是關(guān)于光電轉(zhuǎn)換一系列集成電路技術(shù)的研究。生物用集成電路技術(shù),是將集成電路技術(shù)和生物學(xué)醫(yī)學(xué)相結(jié)合的一個(gè)方向,射光所在這方面的研究也是很有優(yōu)勢(shì)的。
微電子所:MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
東南大學(xué)微電子所建有國(guó)家專用電路系統(tǒng)工程技術(shù)研究中心和微電子機(jī)械系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,其MEMS實(shí)驗(yàn)室屬于教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。黃慶安教授的《硅微機(jī)械加工技術(shù)》,到目前為止還是國(guó)內(nèi)好的MEMS中文參考書。由于沒(méi)有自己的生產(chǎn)加工線,黃老師把研究重點(diǎn)放到了不太耗資金但前景不錯(cuò)的MEMS CAD方向,具體包括VLSI器件物理與新型器件研究、超大規(guī)模集成電路與系統(tǒng)CAD設(shè)計(jì)與應(yīng)用、智能傳感與微電子機(jī)械系統(tǒng)研究和微電子系統(tǒng)與專用集成電路設(shè)計(jì)和固態(tài)電子學(xué)及其技術(shù)。
【招生信息】
綜合來(lái)看,射光所強(qiáng)在電路,而微電子所強(qiáng)在器件,一個(gè)學(xué)校兩個(gè)部門都具有相當(dāng)實(shí)力,不能不說(shuō)是東南大學(xué)的一大特色。2003年依托于兩個(gè)研究單位的合力,東南大學(xué)IC學(xué)院成立,該學(xué)院已于2004年開始招收工學(xué)碩士、工程碩士和博士研究生。
西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院
國(guó)家集成電路人才培養(yǎng)基地
西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院是在原微電子研究所及技術(shù)物理學(xué)院微電子系的基礎(chǔ)上組建而成,是科技部資助的5個(gè)國(guó)家集成電路人才培養(yǎng)基地之一。
【硬件環(huán)境】3個(gè)部級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
該學(xué)院現(xiàn)有3個(gè)部級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,即“寬禁帶半導(dǎo)體材料與器件教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”、“微電路可靠性技術(shù)”和“新型半導(dǎo)體材料與器件”信息產(chǎn)業(yè)部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,另設(shè)有EDA實(shí)踐中心、超凈工藝實(shí)驗(yàn)室等。
【師資科研】五主多從的研究小組
該學(xué)院的主要科研方向是寬禁帶半導(dǎo)體(GaN、SiC)材料與器件、VLSI/SOC 設(shè)計(jì)技術(shù)、超深亞微米器件可靠性與可制造性、新型半導(dǎo)體工藝與新結(jié)構(gòu)器件。大體分為5個(gè)研究組:702教研室,由張義門教授掛帥,主要研究方向?yàn)槠骷凸に?,副院長(zhǎng)張玉明教授也在該組,從事RF電路方面的研究;張鶴鳴老師的研究小組主要研究應(yīng)變硅、高速器件等;院長(zhǎng)莊奕琪帶領(lǐng)的研究小組主要從事電路、系統(tǒng)級(jí)的研究,如嵌入式電路、IP核、藍(lán)牙電路等等,另外還有一些對(duì)操作系統(tǒng)、解碼之類的研究,似乎已經(jīng)跟計(jì)算機(jī)通信聯(lián)系起來(lái)了;楊英堂老師現(xiàn)任發(fā)展規(guī)劃處處長(zhǎng),他所掛帥的小組從器件、工藝到系統(tǒng)都涉及,項(xiàng)目很多,而且由于楊老師的活動(dòng)能力優(yōu)勢(shì),也很容易接到各種項(xiàng)目;另一個(gè)比較大的組由郝躍老師帶領(lǐng),主要做GaAs器件的研究。
西電的一大特色就是師資力量雄厚,過(guò)去有號(hào)稱“四大金剛”的莊奕琪、楊英堂、郝躍、張義門老師,如今更有許多年輕有為的教授加入,從2007年的研究生招生目錄上面可以看出,單就招生的教授和副教授的人數(shù)來(lái)看就有好多,研究的方向也非常廣,實(shí)力不可小覷。
【招生信息】
2007年,微電子學(xué)院共有309人報(bào)考,錄取180人;其中微電子專業(yè)有269人報(bào)考,終錄取58人。
天津大學(xué)電子科學(xué)與技術(shù)系
以傳感器為主的科研特色
天津大學(xué)微電子專業(yè)隸屬于電子信息工程學(xué)院,下設(shè)兩個(gè)機(jī)構(gòu):天津大學(xué)專用集成電路(IC)設(shè)計(jì)中心和半導(dǎo)體傳感器研究室。該所擁有全套的Cadence、Synopsys、Mentor Graphics和ADS服務(wù)器、工作站等。
天大微電子所的科研特色主要是以傳感器為主,有3個(gè)主要的研究課題組:專用集成電路與MEMS設(shè)計(jì)課題組,帶頭人是姚素英教授,組成員有李斌橋、趙毅強(qiáng)、張為和肖夏等,其課題研究領(lǐng)域很廣,包括了ASIC、射頻集成電路、數(shù)?;旌霞呻娐吩O(shè)計(jì)、半導(dǎo)體傳感器(壓力、光電)、MEMS系統(tǒng)集成以及測(cè)試和可靠性方向。其中李斌橋教授系清華電子工程系博士,在加拿大Dalsa Inc的研究與開發(fā)部任首席科學(xué)家。新型半導(dǎo)體器件課題組,帶頭人是毛陸虹教授,包括張世林、梁惠來(lái)等,主要的研究課題包括通信集成電路、光電集成電路、化合物半導(dǎo)體研究等等。軍用電子材料與元器件小組,帶頭人是李玲霞教授,主要有SOICMOS和BiCMOS方面的研究,也有一些光電子器件和集成的研究。
天大微電子專業(yè)每年的招生人數(shù)保持在50人左右,其中保送生有15人左右(2007年實(shí)際招生57人,其中保送生15人)。
武漢大學(xué)微電子與信息技術(shù)研究院
微電子學(xué)界的新秀
武漢大學(xué)位于風(fēng)景秀麗的東湖之濱、珞珈山麓,是中國(guó)美麗的大學(xué)之一。微電子學(xué)研究院很年輕,成立于2004年4月,有3個(gè)實(shí)驗(yàn)室:電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)實(shí)驗(yàn)室、集成電路與半導(dǎo)體器件實(shí)驗(yàn)室和嵌入式系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室。
武大微電子研究院的研究方向包括:微納集成電路設(shè)計(jì)、集成電路設(shè)計(jì)軟件開發(fā)(EDA)、微納光集成電路研究、電磁場(chǎng)理論與通信工程、嵌入式系統(tǒng)、信號(hào)處理與人工智能和MEMS等。院長(zhǎng)王高峰是留美雙博士,個(gè)人簡(jiǎn)歷幾乎可與業(yè)界知名人士鄧中翰媲美:發(fā)表過(guò)數(shù)十篇SCI文章,曾在美國(guó)貝爾實(shí)驗(yàn)室、CADENCE等國(guó)際研究所和公司進(jìn)行科學(xué)研究工作, 2004年回國(guó)創(chuàng)建武大微電子與信息技術(shù)研究院。
武漢大學(xué)微電子研究院的研究生,都可以在課余到武漢烽火通信公司去實(shí)習(xí),畢業(yè)之后也能有機(jī)會(huì)留在烽火工作。
值得注意的是,該研究院不面向校外招生,生源只來(lái)自武漢大學(xué)其他相關(guān)學(xué)院,且沒(méi)有固定的招生計(jì)劃。想要報(bào)考該研究院的校內(nèi)學(xué)生,需自己與院方聯(lián)系。
華中科技大學(xué)微電子專業(yè)
材料方向全國(guó)
華中科大微電子專業(yè)隸屬于電子科學(xué)與技術(shù)系,擁有國(guó)家集成電路人才培養(yǎng)基地、微電子器件與集成技術(shù)研究所、電力電子技術(shù)研究所、微納電子器件研究室等多個(gè)部門和實(shí)驗(yàn)室。主要有材料、電路和器件三個(gè)大的方向。科研課題涵蓋超大規(guī)模數(shù)?;旌霞呻娐吩O(shè)計(jì)、高性能低功耗模擬電路設(shè)計(jì)、MEMS設(shè)計(jì)和集成電路工藝等領(lǐng)域。華中科大微電子的材料方向在全國(guó)高校都處于地位,其中陶瓷材料和信息存儲(chǔ)與薄膜技術(shù)更是,PTC熱敏電阻系列產(chǎn)業(yè)化曾獲教育部科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)和國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。
華中科大電子科學(xué)與技術(shù)系是按系來(lái)招生,考生入校后再選專業(yè)和具體方向。2007年該系有八九十人報(bào)考,實(shí)際錄取人數(shù)為34人(不包括校內(nèi)外的保送生),復(fù)試分?jǐn)?shù)線為325分,復(fù)試比例1∶1.5,復(fù)試權(quán)重為40%。2006年錄取五六十人(不包括保送生),報(bào)考人數(shù)有400人以上。
上海交通大學(xué)微電子學(xué)院
以處理器和電路設(shè)計(jì)為研究重點(diǎn)
上海交大微電子學(xué)院擁有很好的硬件設(shè)施,包括SOC系統(tǒng)芯片集成實(shí)驗(yàn)室、EDA基礎(chǔ)教學(xué)實(shí)驗(yàn)室、電路基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)室、集成電路測(cè)試分析實(shí)驗(yàn)室、模擬電路/混合信號(hào)實(shí)驗(yàn)室等。主要以處理器和電路設(shè)計(jì)為研究重點(diǎn),當(dāng)然是以培養(yǎng)工程型人才為主的,這點(diǎn)跟清華有一些類似。該院的師資、資金實(shí)力雄厚,畢業(yè)生中有很多去了國(guó)內(nèi)外的IC企業(yè)(如上海通用、英特爾等),發(fā)展前景非常好。
近年來(lái)該院微電子與固體電子學(xué)招生人數(shù)維持在三五人左右,錄取比例在10%~30%之間。
合肥工業(yè)大學(xué)微電子設(shè)計(jì)研究所
以超大規(guī)模集成電路設(shè)計(jì)見(jiàn)長(zhǎng)
合肥工大微電子設(shè)計(jì)研究所也是國(guó)內(nèi)較早研究集成電路的單位之一,該所主要以超大規(guī)模集成電路設(shè)計(jì)為研究方向,其科研平臺(tái)是“國(guó)家教育部IC設(shè)計(jì)網(wǎng)上合作研究中心”,產(chǎn)業(yè)平臺(tái)是“合肥工大先行微電子技術(shù)有限公司”,具體方向有超大規(guī)模ASIC和SOC設(shè)計(jì)方法學(xué)、IP軟核設(shè)計(jì)和IP評(píng)測(cè)技術(shù)。
微固專業(yè)近年來(lái)的研究生錄取人數(shù)一般在30~40人之間,其中保送生名額大約四五個(gè)。
北京大學(xué)微電子學(xué)系
國(guó)家大力支持的重點(diǎn)學(xué)科點(diǎn)
北京大學(xué)微電子學(xué)系,又稱微電子學(xué)研究所(院),有著源遠(yuǎn)流長(zhǎng)的學(xué)術(shù)傳統(tǒng)。1956年,由物理學(xué)家黃昆院士在北大物理系領(lǐng)導(dǎo)創(chuàng)建了我國(guó)第一個(gè)半導(dǎo)體專業(yè)機(jī)構(gòu),之后在我國(guó)微電子專家王陽(yáng)元院士的帶領(lǐng)下,北京大學(xué)微電子學(xué)系發(fā)展成為我國(guó)培養(yǎng)高水平微電子人才的一個(gè)重要基地,是國(guó)家的重點(diǎn)學(xué)科點(diǎn)。
【硬件環(huán)境】三大重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室國(guó)內(nèi)
北大微電子學(xué)系有著國(guó)內(nèi)一流的科研硬件設(shè)施,有微米/納米加工技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、北方微電子研究開發(fā)基地新工藝新器件新結(jié)構(gòu)電路國(guó)家計(jì)委專項(xiàng)實(shí)驗(yàn)室、北京市軟硬件協(xié)同設(shè)計(jì)高科技實(shí)驗(yàn)室三大重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,還有MPW(多項(xiàng)目晶圓)中心平臺(tái)。
【師資科研】科研小組特色明顯
北大微電子所下設(shè)SOI、SOC、ASIC、MPW中心、MEMS、新器件、可測(cè)性、寬禁帶、納太器件等多個(gè)研究小組。所長(zhǎng)王陽(yáng)元院士是中國(guó)微電子產(chǎn)業(yè)的奠基人之一,目前出任中芯國(guó)際的董事長(zhǎng)。
SOI研究組的研究領(lǐng)域有SOI技術(shù)、納米量級(jí)新結(jié)構(gòu)器件及制備工藝技術(shù),以及射頻電路技術(shù)。黃如教授是北京市優(yōu)秀教師,目前為IEEE EDS(Electron Device Society)和ADCOM (Administrative Committee)的成員,主要科研方向是SOI,但同時(shí)也指導(dǎo)學(xué)生進(jìn)行射頻方面的研究。廖懷林教授專門從事RF電路方面的研究,功底深厚。該研究組掌握了國(guó)內(nèi)科研界先進(jìn)的加工技術(shù)(流片基本上采用0.13微米工藝),研究生博士生已有多篇文章發(fā)表在國(guó)際高水平刊物上。
SOC研究組在敦山教授領(lǐng)導(dǎo)下,擁有北京大學(xué)-安捷倫科技SOC測(cè)試教育中心和北京大學(xué)-安捷倫科技SOC測(cè)試工程中心兩大平臺(tái)。于老師雖然是研究微處理器,但在系統(tǒng)方面也有很深的造詣。
重視工藝是北大微電子所的傳統(tǒng),所里不少老師是學(xué)物理出身的,對(duì)于器件工藝十分重視,再加上先進(jìn)的微米/納米加工條件,因此該所的微電子器件加工工藝一直保持著國(guó)內(nèi)水平。
新器件組在劉曉彥、康晉鋒兩位教授的帶領(lǐng)下,主要進(jìn)行新型半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)、材料、工藝、模型、模擬等方面的研究。他們成功研制了多種新結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體器件,在超精細(xì)柵、新型金屬柵和高K柵介質(zhì)結(jié)構(gòu)、制備工藝、可靠性、高速互聯(lián)方面都取得了一系列創(chuàng)新成果。在器件的模型、蒙特卡羅模擬以及新型存儲(chǔ)器方面的研究都堪稱一流。
MPW是近兩年新成立的一個(gè)研究組,是依托北大微電學(xué)研究院的技術(shù)力量建立的一個(gè)服務(wù)于各高校、科研、企業(yè)的平臺(tái),目前由盛世敏教授和張鋼剛教授指導(dǎo)學(xué)生開展工作。盛教授是當(dāng)年王院士的同事,也是北大微電子所的奠基人之一。MPW組的研究生,有從事數(shù)電、模電工作的,也有從事ADC、提取參數(shù)、建立模型庫(kù)方面工作的。
MEMS組是目前北大微電子所里規(guī)模大的一個(gè)組,有RFMEMS、MEMS陀螺、微流體芯片、生物MEMS、NEMS等多個(gè)研究方向。北大MEMS組的加工工藝在國(guó)內(nèi)高校,組內(nèi)的李志宏教授、張大成教授等多位老師對(duì)工藝有很深的研究。李志宏教授是MEMS研究所所長(zhǎng),在RFMEMS和微流體芯片方面都有研究;閆桂珍教授是國(guó)內(nèi)MEMS陀螺研究方面的權(quán)威;張大成教授對(duì)微電子IC工藝和MEMS工藝都有豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),同時(shí)也是微米/納米加工實(shí)驗(yàn)室的負(fù)責(zé)人。該組的“基于MEMS 技術(shù)及應(yīng)用研究”曾獲得2006年度國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng),是北京大學(xué)第以“第一完成人單位”獲得的國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)。
【招生信息】
北大微電子學(xué)專業(yè)2007年招收碩士生105人,其中校本部25人,深圳研究生院80人。從今年開始,沒(méi)有達(dá)到微電子專業(yè)分?jǐn)?shù)線的考生,只要過(guò)了北大研考理學(xué)類總分?jǐn)?shù)線的都可以轉(zhuǎn)報(bào)微電子工程碩士,工程碩士招生總?cè)藬?shù)為100人。
清華大學(xué)微電子所
全國(guó)微電子學(xué)領(lǐng)域首個(gè)重點(diǎn)學(xué)科點(diǎn)
清華大學(xué)微電子學(xué)研究所成立于1980年9月,第一任所長(zhǎng)由全國(guó)半導(dǎo)體物理學(xué)家、中科院院士李志堅(jiān)擔(dān)任。該所是國(guó)家重點(diǎn)支持的北方微電子研究開發(fā)基地的主要組成單位,是高素質(zhì)微納電子科技人才的培養(yǎng)基地,1988年被定為全國(guó)微電子學(xué)領(lǐng)域第一個(gè)重點(diǎn)學(xué)科點(diǎn)。
【硬件環(huán)境】?jī)蓷l集成電路工藝加工線
清華大學(xué)微米/納米技術(shù)研究中心擁有一條4英寸1微米級(jí)集成電路工藝線,具有完備的MEMS加工技術(shù)與設(shè)備,主要用于加工與MEMS器件相關(guān)的項(xiàng)目流片。另外還有一條集成電路開發(fā)與工業(yè)性試驗(yàn)線,主要進(jìn)行各類新型SiGe微波功率半導(dǎo)體器件與集成電路以及其他特殊用途的硅集成電路的研究開發(fā),并且可以提供MOSMPW(MOS多項(xiàng)目晶圓)服務(wù)。
【師資科研】器件和設(shè)計(jì)實(shí)力強(qiáng)
清華大學(xué)微電子所主要分器件、工藝、設(shè)計(jì)和CAD四個(gè)研究方向。在這四個(gè)研究領(lǐng)域中,該所器件和設(shè)計(jì)實(shí)力強(qiáng),研究資金豐厚。
器件方向,主要強(qiáng)在理論,其研究方向包括新器件結(jié)構(gòu)與模型、新材料與工藝、新概念與原理,其特點(diǎn)在于新材料和新器件方向結(jié)合、LIGA技術(shù)與傳統(tǒng)IC方向結(jié)合、微納米級(jí)器件設(shè)計(jì)與小尺寸器件模型建立相結(jié)合。微納器件與系統(tǒng)研究室目前由任天令教授主管,研究方向包括MEMS、新型半導(dǎo)體存儲(chǔ)技術(shù)、納電子與自旋電子學(xué)和微納電子技術(shù)新材料等。在MEMS研究方面,器件組是國(guó)內(nèi)惟一重復(fù)出當(dāng)年的靜電微馬達(dá)的科研單位。
工藝方向,包括了研究傳統(tǒng)的CMOS工藝技術(shù)以及一些新型的工藝技術(shù)如數(shù)模混合工藝等等。其中的集成電路開發(fā)與工業(yè)性試驗(yàn)線由劉志弘教授任主任,該組的主要研究方向是:深亞微米集成電路制造、SiGe技術(shù)、非揮發(fā)性存儲(chǔ)技術(shù)、POWER器件及集成電路,以及集成電路生產(chǎn)自動(dòng)化控制等。
設(shè)計(jì)方向更偏向于工程。在各大高校中,清華的電路設(shè)計(jì)是一流的,與各大公司、研究所以及國(guó)內(nèi)外foundry都有較多的合作,研究課題涉及數(shù)字多媒體、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)及模糊電路、高層次綜合技術(shù)(原大唐總裁魏少軍在這個(gè)方向?yàn)楸贝笄迦A的研究生開有任選課)、IC測(cè)試、多媒體VLSI、加密電路及CPU等等。集成電路與系統(tǒng)設(shè)計(jì)研究室由王志華教授領(lǐng)導(dǎo),研究領(lǐng)域?yàn)榧呻娐放c系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法學(xué)、模擬和射頻集成電路設(shè)計(jì)、通訊集成電路設(shè)計(jì)和高速實(shí)時(shí)信號(hào)處理。
CAD技術(shù)研究室的主任為王燕教授,該組的主要研究方向有:極小尺寸MOS器件輸運(yùn)機(jī)理研究、納米級(jí)量子、電子器件結(jié)構(gòu)和理論分析、微/納米級(jí)器件的CAD軟件研究、微/納米級(jí)新結(jié)構(gòu)器件研究、建庫(kù)方法學(xué)研究和用于SOC存儲(chǔ)器類的IP核開發(fā)、射頻(RF)電路版圖設(shè)計(jì)的電路提取和驗(yàn)證,以及集成電路制造的計(jì)算機(jī)輔助管理系統(tǒng)(IC-CAM系統(tǒng))研發(fā)等。
【招生信息】
清華研究生微電子所難考的原因,在于他接收的考試生比較少(2007年僅招10人),而保送生為30~40人。清華大學(xué)在深圳也設(shè)有研究生院,但是一般只培養(yǎng)工程碩士(專業(yè)碩士的一種)。微電子所2007年在北京、深圳兩地招收工程碩士人數(shù)總共為74名。
中科院微電子所、微系統(tǒng)所和半導(dǎo)體所
以研究員為科研主力
中科院和微電子領(lǐng)域關(guān)系密切的研究所有3個(gè):微電子所、半導(dǎo)體所和微系統(tǒng)所,這3個(gè)所的師資、資金實(shí)力在國(guó)內(nèi)同行中處于水平。
微電子所:核心設(shè)備國(guó)內(nèi)一流
中科院微電子所的核心設(shè)備是一流的,它有一條用于0.8微米IC工藝研究的實(shí)驗(yàn)線,“高密度等離子體刻蝕機(jī)和大角度離子注入機(jī)”為國(guó)家“863”集成電路裝備重大專項(xiàng);微細(xì)加工與納米技術(shù)實(shí)驗(yàn)室裝備了分辨率30nm的JEOL JBX-5000LS電子束光刻系統(tǒng),分辨率0.35u的MEBES 4500電子束制版系統(tǒng)以及和微細(xì)加工有關(guān)的反應(yīng)離子刻蝕機(jī)、電子束鍍膜系統(tǒng)、光學(xué)制版系統(tǒng)、LPCVD以及JBX-6A2電子束制版系統(tǒng)。在北京地區(qū),目前惟一能做電子束光刻的科研單位就是微電子所。
該所目前共有7個(gè)研究室,分別為硅器件與集成技術(shù)、專用集成電路與系統(tǒng)、微細(xì)加工與納米技術(shù)、微波器件與集成電路、通訊與多媒體SOC、電子系統(tǒng)技術(shù)和總體電子設(shè)計(jì)平臺(tái)與共性技術(shù)。各個(gè)研究室的研究方向基本涵蓋了器件電路設(shè)計(jì)開發(fā)的各塊領(lǐng)域,互補(bǔ)而又不沖突,相互之間的師資分配也很合理。
【招生信息】
微電子所2007年計(jì)劃招生43人。據(jù)相關(guān)老師介紹,2008年微電子所要爭(zhēng)取碩士招生人數(shù)達(dá)到60人。
微系統(tǒng)所:兩室五組,科研領(lǐng)域廣
中科院微系統(tǒng)所擁有:傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室與微系統(tǒng)技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(隸屬M(fèi)EMS組)、信息功能材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(隸屬材料組)。
微系統(tǒng)所主要有5個(gè)研究組:王躍林教授的MEMS組,下有微系統(tǒng)工藝平臺(tái)和微系統(tǒng)封裝平臺(tái),研究方向包括MEMS傳感器和執(zhí)行器技術(shù)研究、光通信微系統(tǒng)研究、生物芯片等;宋志棠的材料組,擁有化合物半導(dǎo)體器件工藝平臺(tái)和納米半導(dǎo)體薄膜材料加工測(cè)試平臺(tái),主要研究相變存儲(chǔ)器、光電子和微波材料與器件、太赫茲半導(dǎo)體器件和物理;另外3個(gè)組是SOI組、無(wú)線組和能源(電池)組。
除了這5個(gè)主要的研究組外,還有兩個(gè)單獨(dú)的課題組是RF和DNA。微系統(tǒng)所在科研成果的產(chǎn)業(yè)化方面很有特色,在不久前揭曉的國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)評(píng)選中,該所的“高端硅基SOI材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目獲2006年度國(guó)家科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。
微系統(tǒng)所的一個(gè)大特點(diǎn)在于研究涉及的領(lǐng)域很廣,各個(gè)研究室之間相對(duì)獨(dú)立而又不乏合作。整個(gè)微系統(tǒng)所是一個(gè)很完善的系統(tǒng),部門之間又有EDA與網(wǎng)絡(luò)信息中心作為公共支撐。該所給學(xué)生提供的助研金比較多,差不多是其他科研院所的兩倍,甚至其碩士生的助研金比別的單位的博士生都高。
【招生信息】
微系統(tǒng)所每年招生75人左右,其中大部分在微電子與固體電子學(xué)(47人)和通信與信息系統(tǒng)(20人),畢業(yè)生主要就業(yè)方向是國(guó)內(nèi)外的大公司,如AGILENT、華為等。
半導(dǎo)體所:主要研究物理器件
微電子專業(yè)初是從半導(dǎo)體專業(yè)中分離出來(lái)的,目前的中科院半導(dǎo)體所依然保留有微電子研究和發(fā)展中心,該中心主要從事同微電子相關(guān)的半導(dǎo)體器件和電路的研究,包括抗輻射CMOS/SOS及CMOS/SOI集成電路、SiC高溫半導(dǎo)體器件、微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)、磁存儲(chǔ)器(MRAM)、共振隧穿二極管(RTD)和系統(tǒng)集成芯片(SOC)設(shè)計(jì)及應(yīng)用。可以看出,半導(dǎo)體所的主要優(yōu)勢(shì)在于深厚的物理理論基礎(chǔ),主要研究領(lǐng)域還是器件方向,擅長(zhǎng)半導(dǎo)體光電子和微電子器件。
半導(dǎo)體所微電子中心每年招收的研究生不多,但畢業(yè)去向都很不錯(cuò),主要去向?yàn)閲?guó)內(nèi)外知名公司,成為如北京華虹NEC、上海先進(jìn)半導(dǎo)體等公司的IC設(shè)計(jì)部門的技術(shù)骨干。
電子科技大學(xué)微電子與固體電子學(xué)院
排頭兵中的尖兵
電子科技大學(xué)位于具有“天府之國(guó)”美譽(yù)的成都,是“211”和“985”之一,在2006年中國(guó)高校國(guó)際學(xué)術(shù)會(huì)議排名中名列第四,被譽(yù)為“我國(guó)電子類院校的排頭兵”。其微電子與固體電子學(xué)院擁有一支以中科院院士陳星弼領(lǐng)銜的包括16名博士生導(dǎo)師、27名教授在內(nèi)的雄厚師資力量,與國(guó)內(nèi)外相關(guān)公司、高校和研究機(jī)構(gòu)有著廣泛的合作關(guān)系。
【硬件環(huán)境】新建FAB工藝線
電子科大微固學(xué)院的硬件設(shè)施相當(dāng)不錯(cuò),有國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室電子薄膜與集成器件實(shí)驗(yàn)室、集成電路設(shè)計(jì)中心和納米技術(shù)中心,還有新建成的FAB工藝線——微細(xì)加工基地(6英寸,線寬為0.35um)。
【師資科研】功率器件和功率電路研究突出
電子科大微電子專業(yè)主要的特色在功率器件和功率電路方面,科研方向主要有功率器件與智能功率集成電路、微電子器件與集成電路、ULSI集成電路設(shè)計(jì)/ASIC設(shè)計(jì)與應(yīng)用。功率器件與智能功率集成電路方向,由陳星弼院士和張波教授分別領(lǐng)導(dǎo)的小組研究,但側(cè)重點(diǎn)有所不同:陳院士的科研小組主要研究功率器件、功率電路、電源管理和相關(guān)的一些模擬電路;張波教授科研小組的研究方向有電源管理(功率器件+功率電路)和功率器件(傳統(tǒng)硅基器件以及新材料比如SiC基的功率器件)。微電子器件與集成電路方向在年輕的于奇教授的帶領(lǐng)下,主要集中開發(fā)模擬電路,也有鍺硅器件、ADDC等研究方向。李平教授近年來(lái)的研究項(xiàng)目有電源管理、汽車電子、單片機(jī)芯片設(shè)計(jì)、鐵電存儲(chǔ)器、FPGA等,更集中于數(shù)電。
【招生信息】
微電子專業(yè)近兩年的招生人數(shù)保持在110人左右,其中保送生約占15%。報(bào)考該專業(yè)的考生,如果發(fā)揮不好,則有優(yōu)先權(quán)可以轉(zhuǎn)到固體電子專業(yè),另外也可以轉(zhuǎn)到工程碩士的集成電路方向,相應(yīng)的錄取分?jǐn)?shù)線可以降低60~70分。據(jù)悉,近兩年轉(zhuǎn)到集成電路方向的學(xué)生比較多。
東南大學(xué)射光所和微電子所
優(yōu)勢(shì)互補(bǔ),各有所長(zhǎng)
東南大學(xué)的微電子研究比較特殊,既有以射頻聞名的射光所,又有在MEMS方向頗具實(shí)力的微電子所。射光所下屬于在無(wú)線電系,而微電子所則下屬于電子工程系。兩個(gè)研究所各有所長(zhǎng),優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)。
射光所:國(guó)內(nèi)知名的高技術(shù)研究中心
射光所,即射頻光電集成電路研究所,是由教育部和東南大學(xué)在1997年聯(lián)合籌建的高技術(shù)研究所,屬“211”工程項(xiàng)目。在國(guó)家教育部、科技部等有關(guān)方面的支持下,如今已發(fā)展成為國(guó)內(nèi)外知名的射頻與超高速光電集成電路人才培養(yǎng)和高技術(shù)研究中心。
東南射光所的前任所長(zhǎng),同時(shí)也是創(chuàng)建人的王志功教授,是從德國(guó)歸國(guó)工作的微電子光電子專家,在國(guó)內(nèi)射頻和光電集成電路方面的造詣,在學(xué)術(shù)界也享有盛名。
射光所的主要研究方向包括射頻集成電路、微波毫米波集成電路、光電集成電路、光纖通信集成電路、ULSI、生物用集成電路等等。射頻集成電路方向主要由李智群博士負(fù)責(zé),研究?jī)?nèi)容包括移動(dòng)通信及無(wú)線接入系統(tǒng)用射頻集成電路,包括低噪聲放大器、混頻器、振蕩器、功率放大器等。微波毫米波集成電路設(shè)計(jì)方向由王志功教授親自負(fù)責(zé),研究?jī)?nèi)容涉及HEMT移相器、GaAs HBT 壓控振蕩器和單片集成電路上的關(guān)鍵元件的研究等。光電集成電路方向,是射光所的一大特色,主要是關(guān)于光電轉(zhuǎn)換一系列集成電路技術(shù)的研究。生物用集成電路技術(shù),是將集成電路技術(shù)和生物學(xué)醫(yī)學(xué)相結(jié)合的一個(gè)方向,射光所在這方面的研究也是很有優(yōu)勢(shì)的。
微電子所:MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
東南大學(xué)微電子所建有國(guó)家專用電路系統(tǒng)工程技術(shù)研究中心和微電子機(jī)械系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,其MEMS實(shí)驗(yàn)室屬于教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。黃慶安教授的《硅微機(jī)械加工技術(shù)》,到目前為止還是國(guó)內(nèi)好的MEMS中文參考書。由于沒(méi)有自己的生產(chǎn)加工線,黃老師把研究重點(diǎn)放到了不太耗資金但前景不錯(cuò)的MEMS CAD方向,具體包括VLSI器件物理與新型器件研究、超大規(guī)模集成電路與系統(tǒng)CAD設(shè)計(jì)與應(yīng)用、智能傳感與微電子機(jī)械系統(tǒng)研究和微電子系統(tǒng)與專用集成電路設(shè)計(jì)和固態(tài)電子學(xué)及其技術(shù)。
【招生信息】
綜合來(lái)看,射光所強(qiáng)在電路,而微電子所強(qiáng)在器件,一個(gè)學(xué)校兩個(gè)部門都具有相當(dāng)實(shí)力,不能不說(shuō)是東南大學(xué)的一大特色。2003年依托于兩個(gè)研究單位的合力,東南大學(xué)IC學(xué)院成立,該學(xué)院已于2004年開始招收工學(xué)碩士、工程碩士和博士研究生。
西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院
國(guó)家集成電路人才培養(yǎng)基地
西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院是在原微電子研究所及技術(shù)物理學(xué)院微電子系的基礎(chǔ)上組建而成,是科技部資助的5個(gè)國(guó)家集成電路人才培養(yǎng)基地之一。
【硬件環(huán)境】3個(gè)部級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
該學(xué)院現(xiàn)有3個(gè)部級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,即“寬禁帶半導(dǎo)體材料與器件教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”、“微電路可靠性技術(shù)”和“新型半導(dǎo)體材料與器件”信息產(chǎn)業(yè)部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,另設(shè)有EDA實(shí)踐中心、超凈工藝實(shí)驗(yàn)室等。
【師資科研】五主多從的研究小組
該學(xué)院的主要科研方向是寬禁帶半導(dǎo)體(GaN、SiC)材料與器件、VLSI/SOC 設(shè)計(jì)技術(shù)、超深亞微米器件可靠性與可制造性、新型半導(dǎo)體工藝與新結(jié)構(gòu)器件。大體分為5個(gè)研究組:702教研室,由張義門教授掛帥,主要研究方向?yàn)槠骷凸に?,副院長(zhǎng)張玉明教授也在該組,從事RF電路方面的研究;張鶴鳴老師的研究小組主要研究應(yīng)變硅、高速器件等;院長(zhǎng)莊奕琪帶領(lǐng)的研究小組主要從事電路、系統(tǒng)級(jí)的研究,如嵌入式電路、IP核、藍(lán)牙電路等等,另外還有一些對(duì)操作系統(tǒng)、解碼之類的研究,似乎已經(jīng)跟計(jì)算機(jī)通信聯(lián)系起來(lái)了;楊英堂老師現(xiàn)任發(fā)展規(guī)劃處處長(zhǎng),他所掛帥的小組從器件、工藝到系統(tǒng)都涉及,項(xiàng)目很多,而且由于楊老師的活動(dòng)能力優(yōu)勢(shì),也很容易接到各種項(xiàng)目;另一個(gè)比較大的組由郝躍老師帶領(lǐng),主要做GaAs器件的研究。
西電的一大特色就是師資力量雄厚,過(guò)去有號(hào)稱“四大金剛”的莊奕琪、楊英堂、郝躍、張義門老師,如今更有許多年輕有為的教授加入,從2007年的研究生招生目錄上面可以看出,單就招生的教授和副教授的人數(shù)來(lái)看就有好多,研究的方向也非常廣,實(shí)力不可小覷。
【招生信息】
2007年,微電子學(xué)院共有309人報(bào)考,錄取180人;其中微電子專業(yè)有269人報(bào)考,終錄取58人。
天津大學(xué)電子科學(xué)與技術(shù)系
以傳感器為主的科研特色
天津大學(xué)微電子專業(yè)隸屬于電子信息工程學(xué)院,下設(shè)兩個(gè)機(jī)構(gòu):天津大學(xué)專用集成電路(IC)設(shè)計(jì)中心和半導(dǎo)體傳感器研究室。該所擁有全套的Cadence、Synopsys、Mentor Graphics和ADS服務(wù)器、工作站等。
天大微電子所的科研特色主要是以傳感器為主,有3個(gè)主要的研究課題組:專用集成電路與MEMS設(shè)計(jì)課題組,帶頭人是姚素英教授,組成員有李斌橋、趙毅強(qiáng)、張為和肖夏等,其課題研究領(lǐng)域很廣,包括了ASIC、射頻集成電路、數(shù)?;旌霞呻娐吩O(shè)計(jì)、半導(dǎo)體傳感器(壓力、光電)、MEMS系統(tǒng)集成以及測(cè)試和可靠性方向。其中李斌橋教授系清華電子工程系博士,在加拿大Dalsa Inc的研究與開發(fā)部任首席科學(xué)家。新型半導(dǎo)體器件課題組,帶頭人是毛陸虹教授,包括張世林、梁惠來(lái)等,主要的研究課題包括通信集成電路、光電集成電路、化合物半導(dǎo)體研究等等。軍用電子材料與元器件小組,帶頭人是李玲霞教授,主要有SOICMOS和BiCMOS方面的研究,也有一些光電子器件和集成的研究。
天大微電子專業(yè)每年的招生人數(shù)保持在50人左右,其中保送生有15人左右(2007年實(shí)際招生57人,其中保送生15人)。
武漢大學(xué)微電子與信息技術(shù)研究院
微電子學(xué)界的新秀
武漢大學(xué)位于風(fēng)景秀麗的東湖之濱、珞珈山麓,是中國(guó)美麗的大學(xué)之一。微電子學(xué)研究院很年輕,成立于2004年4月,有3個(gè)實(shí)驗(yàn)室:電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)實(shí)驗(yàn)室、集成電路與半導(dǎo)體器件實(shí)驗(yàn)室和嵌入式系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室。
武大微電子研究院的研究方向包括:微納集成電路設(shè)計(jì)、集成電路設(shè)計(jì)軟件開發(fā)(EDA)、微納光集成電路研究、電磁場(chǎng)理論與通信工程、嵌入式系統(tǒng)、信號(hào)處理與人工智能和MEMS等。院長(zhǎng)王高峰是留美雙博士,個(gè)人簡(jiǎn)歷幾乎可與業(yè)界知名人士鄧中翰媲美:發(fā)表過(guò)數(shù)十篇SCI文章,曾在美國(guó)貝爾實(shí)驗(yàn)室、CADENCE等國(guó)際研究所和公司進(jìn)行科學(xué)研究工作, 2004年回國(guó)創(chuàng)建武大微電子與信息技術(shù)研究院。
武漢大學(xué)微電子研究院的研究生,都可以在課余到武漢烽火通信公司去實(shí)習(xí),畢業(yè)之后也能有機(jī)會(huì)留在烽火工作。
值得注意的是,該研究院不面向校外招生,生源只來(lái)自武漢大學(xué)其他相關(guān)學(xué)院,且沒(méi)有固定的招生計(jì)劃。想要報(bào)考該研究院的校內(nèi)學(xué)生,需自己與院方聯(lián)系。
華中科技大學(xué)微電子專業(yè)
材料方向全國(guó)
華中科大微電子專業(yè)隸屬于電子科學(xué)與技術(shù)系,擁有國(guó)家集成電路人才培養(yǎng)基地、微電子器件與集成技術(shù)研究所、電力電子技術(shù)研究所、微納電子器件研究室等多個(gè)部門和實(shí)驗(yàn)室。主要有材料、電路和器件三個(gè)大的方向。科研課題涵蓋超大規(guī)模數(shù)?;旌霞呻娐吩O(shè)計(jì)、高性能低功耗模擬電路設(shè)計(jì)、MEMS設(shè)計(jì)和集成電路工藝等領(lǐng)域。華中科大微電子的材料方向在全國(guó)高校都處于地位,其中陶瓷材料和信息存儲(chǔ)與薄膜技術(shù)更是,PTC熱敏電阻系列產(chǎn)業(yè)化曾獲教育部科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)和國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。
華中科大電子科學(xué)與技術(shù)系是按系來(lái)招生,考生入校后再選專業(yè)和具體方向。2007年該系有八九十人報(bào)考,實(shí)際錄取人數(shù)為34人(不包括校內(nèi)外的保送生),復(fù)試分?jǐn)?shù)線為325分,復(fù)試比例1∶1.5,復(fù)試權(quán)重為40%。2006年錄取五六十人(不包括保送生),報(bào)考人數(shù)有400人以上。
上海交通大學(xué)微電子學(xué)院
以處理器和電路設(shè)計(jì)為研究重點(diǎn)
上海交大微電子學(xué)院擁有很好的硬件設(shè)施,包括SOC系統(tǒng)芯片集成實(shí)驗(yàn)室、EDA基礎(chǔ)教學(xué)實(shí)驗(yàn)室、電路基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)室、集成電路測(cè)試分析實(shí)驗(yàn)室、模擬電路/混合信號(hào)實(shí)驗(yàn)室等。主要以處理器和電路設(shè)計(jì)為研究重點(diǎn),當(dāng)然是以培養(yǎng)工程型人才為主的,這點(diǎn)跟清華有一些類似。該院的師資、資金實(shí)力雄厚,畢業(yè)生中有很多去了國(guó)內(nèi)外的IC企業(yè)(如上海通用、英特爾等),發(fā)展前景非常好。
近年來(lái)該院微電子與固體電子學(xué)招生人數(shù)維持在三五人左右,錄取比例在10%~30%之間。
合肥工業(yè)大學(xué)微電子設(shè)計(jì)研究所
以超大規(guī)模集成電路設(shè)計(jì)見(jiàn)長(zhǎng)
合肥工大微電子設(shè)計(jì)研究所也是國(guó)內(nèi)較早研究集成電路的單位之一,該所主要以超大規(guī)模集成電路設(shè)計(jì)為研究方向,其科研平臺(tái)是“國(guó)家教育部IC設(shè)計(jì)網(wǎng)上合作研究中心”,產(chǎn)業(yè)平臺(tái)是“合肥工大先行微電子技術(shù)有限公司”,具體方向有超大規(guī)模ASIC和SOC設(shè)計(jì)方法學(xué)、IP軟核設(shè)計(jì)和IP評(píng)測(cè)技術(shù)。
微固專業(yè)近年來(lái)的研究生錄取人數(shù)一般在30~40人之間,其中保送生名額大約四五個(gè)。