13.3個人防護
13.3.1迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)向，并立即撤離，嚴(yán)格限制出入，應(yīng)急處理人員必須穿戴防護服和正壓式空氣呼吸器，不能直接接觸泄漏物，盡快切斷泄漏源，合理通風(fēng),加速擴散，噴灑霧狀水稀釋。
13.4日常防護
13.4.1生產(chǎn)或檢修過程中，在可能接觸毒物前，應(yīng)穿戴好個人勞動防護用品，包括橡膠手套、防護眼鏡等，佩戴過濾式防毒面具或自主正壓式空氣呼吸器，工作現(xiàn)場嚴(yán)禁吸煙。
13.4.2車間備有過濾式防毒面具正壓式空氣呼吸器及全密封防護服，備緊急情況時使用。
13.5潛在危險性評估
13.5.1甲基氯硅烷貯槽與閥門管道等的連接法蘭面墊片失效，可能引起大量物料泄漏。
13.5.2甲基氯硅烷貯槽底閥、液位計跟部閥失效，可能引起大量物料泄漏。
13.5.3由于腐蝕、超溫、超壓等，導(dǎo)致貯槽或管道破（爆）裂，引起大量物料泄漏。
13.5.4泄漏的物料因靜電、明火等，引起甲基氯硅烷貯槽火災(zāi)。
13.5.5周邊物體火災(zāi)，引起甲基氯硅烷貯槽火災(zāi)甚至爆炸。
13.5.6物料灼傷人體皮膚或眼睛。
13.3.1迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)向，并立即撤離，嚴(yán)格限制出入，應(yīng)急處理人員必須穿戴防護服和正壓式空氣呼吸器，不能直接接觸泄漏物，盡快切斷泄漏源，合理通風(fēng),加速擴散，噴灑霧狀水稀釋。
13.4日常防護
13.4.1生產(chǎn)或檢修過程中，在可能接觸毒物前，應(yīng)穿戴好個人勞動防護用品，包括橡膠手套、防護眼鏡等，佩戴過濾式防毒面具或自主正壓式空氣呼吸器，工作現(xiàn)場嚴(yán)禁吸煙。
13.4.2車間備有過濾式防毒面具正壓式空氣呼吸器及全密封防護服，備緊急情況時使用。
13.5潛在危險性評估
13.5.1甲基氯硅烷貯槽與閥門管道等的連接法蘭面墊片失效，可能引起大量物料泄漏。
13.5.2甲基氯硅烷貯槽底閥、液位計跟部閥失效，可能引起大量物料泄漏。
13.5.3由于腐蝕、超溫、超壓等，導(dǎo)致貯槽或管道破（爆）裂，引起大量物料泄漏。
13.5.4泄漏的物料因靜電、明火等，引起甲基氯硅烷貯槽火災(zāi)。
13.5.5周邊物體火災(zāi)，引起甲基氯硅烷貯槽火災(zāi)甚至爆炸。
13.5.6物料灼傷人體皮膚或眼睛。