5.2.4危險(xiǎn)源綜合分析與評(píng)價(jià)
1、單元的主要危險(xiǎn)因素
SMIC中芯國(guó)際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝復(fù)雜，同時(shí)使用多種易燃、易爆、有毒化學(xué)試劑和易燃、有毒氣體，按照GBJ16-87“生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類”為甲類，因此火災(zāi)、爆炸、中毒是本單元的主要危險(xiǎn)因素，其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害等。
2、已采取的主要安全技術(shù)、管理措施
針對(duì)上述危險(xiǎn)有害因素，為了確保生產(chǎn)工藝及支援車間的安全運(yùn)行，企業(yè)已采取的安全技術(shù)措施主要有：
1)潔凈廠房、各類溶劑室、氣體室等建筑結(jié)構(gòu)、耐火等級(jí)符合國(guó)家相關(guān)規(guī)范要求;
2)潔凈室在產(chǎn)生有害氣體工作區(qū)設(shè)置局部排風(fēng)，同時(shí)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警裝置、火災(zāi)排煙系統(tǒng)及應(yīng)急照明;
3)將腐蝕性、易燃、有毒、惰性氣體分別設(shè)置在獨(dú)立的房間內(nèi)，硅烷單獨(dú)設(shè)置在獨(dú)立的建筑物內(nèi);
4)所有易燃、有毒、腐蝕性氣體盛裝鋼瓶均安裝在特制的氣柜內(nèi)，氣柜帶有閥門盒和閥門屏，氣柜內(nèi)配備自動(dòng)的氮?dú)鈨艋到y(tǒng)。
5)有害氣體在氣柜、閥門盒、工藝設(shè)備和有毒氣體排放口設(shè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)，所有探頭具有高敏度報(bào)警功能;
6)酸、堿、有機(jī)溶劑采用高純氮?dú)獬涮钊萜鳎秒p層管道輸送至使用點(diǎn)，在雙層管道內(nèi)設(shè)監(jiān)測(cè)報(bào)警探頭，所有化學(xué)品盛裝容器、使用點(diǎn)均設(shè)置局部排風(fēng)系統(tǒng);
7)在危險(xiǎn)化學(xué)品生產(chǎn)、儲(chǔ)存場(chǎng)所設(shè)置洗眼器及安全淋浴裝置;
8)本單元消防、報(bào)警、聯(lián)鎖裝置的設(shè)置基本符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)要求。
3、問題與建議
為了保證系統(tǒng)能夠安全運(yùn)行，廠方采取了一些安全措施，基本能夠?qū)崿F(xiàn)安全生產(chǎn)。通過對(duì)作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)安全現(xiàn)狀考察與分析，還存在一些不符合規(guī)定的安全問題，具體問題和建議如下：
1) 因潔凈室生產(chǎn)廠房、易燃?xì)怏w室未設(shè)置泄壓設(shè)施，并且未按SJ30002-92標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置在多層廠房頂層，因此需采取有效措施，保障各類防火、防爆、排風(fēng)系統(tǒng)等安全裝置、設(shè)施的齊備、完好及有效性。
2) 廢液收集罐上的平臺(tái)護(hù)欄需按標(biāo)準(zhǔn)要求修復(fù);
3) 應(yīng)按GB7231-87相關(guān)要求對(duì)工業(yè)管路涂敷基本識(shí)別色。
5.2.5驗(yàn)收評(píng)價(jià)結(jié)論
SMIC中芯國(guó)際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝單元主要危險(xiǎn)因素是各類可燃?xì)怏w、易燃液體以及有毒物料泄漏引發(fā)火災(zāi)、爆炸、中毒。潔凈生產(chǎn)車間、支援車間設(shè)計(jì)、施工以及各類危險(xiǎn)化學(xué)品安全使用、儲(chǔ)存情況基本符合標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范和安全生產(chǎn)要求;項(xiàng)目本質(zhì)安全程度較高，各項(xiàng)安全裝置基本齊全、有效。只要在生產(chǎn)過程中嚴(yán)格執(zhí)行各項(xiàng)安全生產(chǎn)管理制度和安全操作規(guī)程，可以實(shí)現(xiàn)安全生產(chǎn)。
1、單元的主要危險(xiǎn)因素
SMIC中芯國(guó)際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝復(fù)雜，同時(shí)使用多種易燃、易爆、有毒化學(xué)試劑和易燃、有毒氣體，按照GBJ16-87“生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類”為甲類，因此火災(zāi)、爆炸、中毒是本單元的主要危險(xiǎn)因素，其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害等。
2、已采取的主要安全技術(shù)、管理措施
針對(duì)上述危險(xiǎn)有害因素，為了確保生產(chǎn)工藝及支援車間的安全運(yùn)行，企業(yè)已采取的安全技術(shù)措施主要有：
1)潔凈廠房、各類溶劑室、氣體室等建筑結(jié)構(gòu)、耐火等級(jí)符合國(guó)家相關(guān)規(guī)范要求;
2)潔凈室在產(chǎn)生有害氣體工作區(qū)設(shè)置局部排風(fēng)，同時(shí)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警裝置、火災(zāi)排煙系統(tǒng)及應(yīng)急照明;
3)將腐蝕性、易燃、有毒、惰性氣體分別設(shè)置在獨(dú)立的房間內(nèi)，硅烷單獨(dú)設(shè)置在獨(dú)立的建筑物內(nèi);
4)所有易燃、有毒、腐蝕性氣體盛裝鋼瓶均安裝在特制的氣柜內(nèi)，氣柜帶有閥門盒和閥門屏，氣柜內(nèi)配備自動(dòng)的氮?dú)鈨艋到y(tǒng)。
5)有害氣體在氣柜、閥門盒、工藝設(shè)備和有毒氣體排放口設(shè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)，所有探頭具有高敏度報(bào)警功能;
6)酸、堿、有機(jī)溶劑采用高純氮?dú)獬涮钊萜鳎秒p層管道輸送至使用點(diǎn)，在雙層管道內(nèi)設(shè)監(jiān)測(cè)報(bào)警探頭，所有化學(xué)品盛裝容器、使用點(diǎn)均設(shè)置局部排風(fēng)系統(tǒng);
7)在危險(xiǎn)化學(xué)品生產(chǎn)、儲(chǔ)存場(chǎng)所設(shè)置洗眼器及安全淋浴裝置;
8)本單元消防、報(bào)警、聯(lián)鎖裝置的設(shè)置基本符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)要求。
3、問題與建議
為了保證系統(tǒng)能夠安全運(yùn)行，廠方采取了一些安全措施，基本能夠?qū)崿F(xiàn)安全生產(chǎn)。通過對(duì)作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)安全現(xiàn)狀考察與分析，還存在一些不符合規(guī)定的安全問題，具體問題和建議如下：
1) 因潔凈室生產(chǎn)廠房、易燃?xì)怏w室未設(shè)置泄壓設(shè)施，并且未按SJ30002-92標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置在多層廠房頂層，因此需采取有效措施，保障各類防火、防爆、排風(fēng)系統(tǒng)等安全裝置、設(shè)施的齊備、完好及有效性。
2) 廢液收集罐上的平臺(tái)護(hù)欄需按標(biāo)準(zhǔn)要求修復(fù);
3) 應(yīng)按GB7231-87相關(guān)要求對(duì)工業(yè)管路涂敷基本識(shí)別色。
5.2.5驗(yàn)收評(píng)價(jià)結(jié)論
SMIC中芯國(guó)際集成電路制造有限公司集成電路生產(chǎn)工藝單元主要危險(xiǎn)因素是各類可燃?xì)怏w、易燃液體以及有毒物料泄漏引發(fā)火災(zāi)、爆炸、中毒。潔凈生產(chǎn)車間、支援車間設(shè)計(jì)、施工以及各類危險(xiǎn)化學(xué)品安全使用、儲(chǔ)存情況基本符合標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范和安全生產(chǎn)要求;項(xiàng)目本質(zhì)安全程度較高，各項(xiàng)安全裝置基本齊全、有效。只要在生產(chǎn)過程中嚴(yán)格執(zhí)行各項(xiàng)安全生產(chǎn)管理制度和安全操作規(guī)程，可以實(shí)現(xiàn)安全生產(chǎn)。