5.1.4評(píng)價(jià)結(jié)論
廠區(qū)總平面布置綜合考慮有利生產(chǎn)，方便工作的要求，各建(構(gòu))筑物按功能分區(qū)，生產(chǎn)工藝流程短捷便利，整體布局合理、廠區(qū)道路呈環(huán)形布置，消防通道暢通、照明完好，人、物分流，并為企業(yè)發(fā)展留有余地和空間，基本符合GB50187《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》的要求，只要按照檢查表和建議的內(nèi)容給予補(bǔ)充完善，可為實(shí)現(xiàn)安全生產(chǎn)創(chuàng)造更為有利的條件。
5.2生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用安全評(píng)價(jià)單元
支援車間危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲(chǔ)存、安全措施情況如表5.2.1-3所示：
危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲(chǔ)存及安全措施表
表5.2.1-3
序號(hào)
儲(chǔ)存場
所名稱
儲(chǔ)存危險(xiǎn)化學(xué)品名稱
氣柜數(shù)量（個(gè)）
安全設(shè)施
1
毒性氣
體室
砷化氫混合氣（AsH3/H2）
1
10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜、雙套管輸送，內(nèi)套管為真空，設(shè)偵測器，介質(zhì)泄漏時(shí)，報(bào)警。
1.5%鍺烷/氫氣（GeH4/H2）
1
1%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓≒H3/N2）
1
5%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓≒H3/N2）
2
2
易燃?xì)怏w室
氨氣（NH3）
8
10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、氨、氟環(huán)境監(jiān)測報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)（酸堿性排風(fēng)系統(tǒng)分開）、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
一氧化碳（CO）
3
二氯硅烷（SiH2Cl2）
1
二氟甲烷（CH2F2）
1
50ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2）
1
氟甲烷（CH3F）
2
100ppmB2H6/N2
1
5% B2H6/N2
2
100ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2）
2
10%氨氣/氮?dú)?BR> 1
C4F6
1
3
腐蝕性氣體室
Cl2
2
10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋(ClF3無)、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
ClF3
2
HBr
2
HCl
11
SiF4
1
4
氧化氣體室
NF3
9
10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋、酸性排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
N2O
7
30%O2/He
6
5
惰性氣體室
1.2%He+N2
1
10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
C4F8
2
CHF3
1
C2F6
1
CO2
1
CF4
2
CHF3
2
SF6
2
He
1
4%H2/N2
1
6
酸室
HCl CDM
1
設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測器、PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置，自動(dòng)水噴淋裝置。
BOE CDM
1
HF CDM
2
NOE CDM
1
HNO3 CDM
1
H3PO4 CDM
1
H2SO4 CDM
2
HF100:1 CDM
1
7
Base Room
（堿室）
NH4OH
1
設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測器，PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置，自動(dòng)水噴淋裝置、消防器材。
H2O2
2
SD-1
1
8
溶劑室
ACT940 CDM
1
設(shè)溶劑排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測器、PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置，自動(dòng)水噴淋裝置、消防器材。
EG-01
1
EBR10A
1
1PA-01CDM
1
5.2.2危險(xiǎn)危害辨識(shí)與分析
1、火災(zāi)、爆炸
各類易燃液體、易燃?xì)怏w在生產(chǎn)、儲(chǔ)存、輸送過程中，一旦因設(shè)備材質(zhì)缺陷、制造質(zhì)量差、機(jī)械損傷等原因致使設(shè)備密封效果不好、包裝容器破損以及人員誤操作，造成物料泄漏，如作業(yè)現(xiàn)場通風(fēng)不良，與空氣混和達(dá)到爆炸極限，遇有火源可能發(fā)生火災(zāi)、爆炸;
2、腐蝕、中毒、化學(xué)灼傷
清洗、擴(kuò)散、光刻、蝕刻等生產(chǎn)區(qū)、酸室、Base room、堿室、溶劑室等腐蝕性化學(xué)品生產(chǎn)、儲(chǔ)存、使用場所內(nèi)，盛裝酸、堿性腐蝕品磷酸、鹽酸等設(shè)備、容器以及輸送管路因材質(zhì)缺陷，制造質(zhì)量差，搬運(yùn)、使用過程機(jī)械損壞、傾翻，造成物料泄漏，如人體接觸泄露的酸、堿性物質(zhì)將會(huì)引起嚴(yán)重的化學(xué)灼傷;同時(shí)各類腐蝕性氣體、毒性氣體因盛裝氣瓶、輸送管路、使用設(shè)備腐蝕、制造缺陷等原因造成泄漏，人接觸或吸入有毒、腐蝕性氣體，均會(huì)造成人員中毒。
3、物理爆炸
各類壓力容器(包括氣瓶)、管道，如果設(shè)備、管道因材質(zhì)缺陷、設(shè)計(jì)不合理、制造焊接質(zhì)量差、腐蝕等使其強(qiáng)度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等，可能發(fā)生容器、管道不能承受設(shè)計(jì)壓力而發(fā)生爆炸，造成人員傷亡，設(shè)備損壞。
4、高溫灼傷
高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。
5、激光、紅外線輻射灼傷
在各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機(jī)臺(tái)上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng)，致使光源直射觀察者眼睛，將會(huì)造成眼灼傷。
6、高頻、噪聲傷害
在離子植入?yún)^(qū)，使用離子植入機(jī)等高頻設(shè)備;清洗、光刻、蝕刻區(qū)使用各類清洗機(jī)、蝕刻機(jī)、微影機(jī)等產(chǎn)生噪聲的設(shè)備，如上述各類設(shè)備高頻、噪聲防護(hù)措施不當(dāng)或損壞都會(huì)對(duì)人員造成物理因素傷害。
7、高處墜落
當(dāng)去廢溶劑儲(chǔ)罐等相對(duì)基準(zhǔn)面標(biāo)高超過2m設(shè)備進(jìn)行檢查、操作或維修設(shè)備時(shí)，若未按標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置鋼梯、護(hù)欄、平臺(tái)或設(shè)置不完善，作業(yè)人員去檢查、操作或檢修時(shí)，稍不慎會(huì)發(fā)生高處墜落事故。
8、觸電
各類用電設(shè)備、照明、配電系統(tǒng)線路保護(hù)接零未接或失效，線路絕緣損壞、線路短路等均可能發(fā)生觸電事故。
9、電氣火災(zāi)
電氣設(shè)備、配電系統(tǒng)未按規(guī)定裝設(shè)漏電保護(hù)器、過電壓保護(hù)等裝置或失效，線路絕緣損壞、短路，以及防爆場所電氣設(shè)備、線路、照明不符合防爆要求等均會(huì)發(fā)生電氣火災(zāi)。
10、雷電危害
建筑物防雷設(shè)計(jì)不合理、施工不規(guī)范、接地電阻值不符合規(guī)范要求，當(dāng)雷擊建筑物、電力設(shè)備、線路等時(shí)，會(huì)產(chǎn)生雷電過電壓，在雷電波及的范圍內(nèi)會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重?fù)p壞建筑物、設(shè)備并可能危及人身安全。雷電火花還可能引發(fā)易燃易爆物質(zhì)的火災(zāi)、爆炸，造成嚴(yán)重的生命、財(cái)產(chǎn)損失。
11、靜電危害
如火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi)(如：光刻、清洗區(qū)、擴(kuò)散區(qū)、可燃?xì)怏w儲(chǔ)藏間等)設(shè)備、管路防靜電設(shè)計(jì)或施工不規(guī)范，在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時(shí)所產(chǎn)生的靜電電荷，不能及時(shí)消除，隨著時(shí)間延續(xù)，靜電荷將越聚越多，靜電電壓逐漸升高，當(dāng)達(dá)到一定程度時(shí)，發(fā)生放電火花;或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花等，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。
5.2.3 安全檢查表
依據(jù)GBJ16-87《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》(2001版)、GB50187《工廠企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》、SJ30002-92《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)規(guī)定》、GBJ19-87《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》(2001年版)、GB50073-2001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、GB5083-99《生產(chǎn)設(shè)備安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)總則》、GB12801-91《生產(chǎn)過程安全衛(wèi)生要求總則》、GB2893-2001《安全色》、GB2894-96《安全標(biāo)志》、GB15603-95《常用化學(xué)危險(xiǎn)品貯存通則》、國務(wù)院令第344號(hào)《危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例》等法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范編制安全檢查表，查驗(yàn)結(jié)果詳見表5.2.3-1。
生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用單元安全檢查表。
廠區(qū)總平面布置綜合考慮有利生產(chǎn)，方便工作的要求，各建(構(gòu))筑物按功能分區(qū)，生產(chǎn)工藝流程短捷便利，整體布局合理、廠區(qū)道路呈環(huán)形布置，消防通道暢通、照明完好，人、物分流，并為企業(yè)發(fā)展留有余地和空間，基本符合GB50187《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》的要求，只要按照檢查表和建議的內(nèi)容給予補(bǔ)充完善，可為實(shí)現(xiàn)安全生產(chǎn)創(chuàng)造更為有利的條件。
5.2生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用安全評(píng)價(jià)單元
支援車間危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲(chǔ)存、安全措施情況如表5.2.1-3所示：
危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲(chǔ)存及安全措施表
表5.2.1-3
序號(hào)
儲(chǔ)存場
所名稱
儲(chǔ)存危險(xiǎn)化學(xué)品名稱
氣柜數(shù)量（個(gè)）
安全設(shè)施
1
毒性氣
體室
砷化氫混合氣（AsH3/H2）
1
10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜、雙套管輸送，內(nèi)套管為真空，設(shè)偵測器，介質(zhì)泄漏時(shí)，報(bào)警。
1.5%鍺烷/氫氣（GeH4/H2）
1
1%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓≒H3/N2）
1
5%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓≒H3/N2）
2
2
易燃?xì)怏w室
氨氣（NH3）
8
10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、氨、氟環(huán)境監(jiān)測報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)（酸堿性排風(fēng)系統(tǒng)分開）、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
一氧化碳（CO）
3
二氯硅烷（SiH2Cl2）
1
二氟甲烷（CH2F2）
1
50ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2）
1
氟甲烷（CH3F）
2
100ppmB2H6/N2
1
5% B2H6/N2
2
100ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2）
2
10%氨氣/氮?dú)?BR> 1
C4F6
1
3
腐蝕性氣體室
Cl2
2
10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋(ClF3無)、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
ClF3
2
HBr
2
HCl
11
SiF4
1
4
氧化氣體室
NF3
9
10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋、酸性排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
N2O
7
30%O2/He
6
5
惰性氣體室
1.2%He+N2
1
10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
C4F8
2
CHF3
1
C2F6
1
CO2
1
CF4
2
CHF3
2
SF6
2
He
1
4%H2/N2
1
6
酸室
HCl CDM
1
設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測器、PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置，自動(dòng)水噴淋裝置。
BOE CDM
1
HF CDM
2
NOE CDM
1
HNO3 CDM
1
H3PO4 CDM
1
H2SO4 CDM
2
HF100:1 CDM
1
7
Base Room
（堿室）
NH4OH
1
設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測器，PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置，自動(dòng)水噴淋裝置、消防器材。
H2O2
2
SD-1
1
8
溶劑室
ACT940 CDM
1
設(shè)溶劑排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測器、PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置，自動(dòng)水噴淋裝置、消防器材。
EG-01
1
EBR10A
1
1PA-01CDM
1
5.2.2危險(xiǎn)危害辨識(shí)與分析
1、火災(zāi)、爆炸
各類易燃液體、易燃?xì)怏w在生產(chǎn)、儲(chǔ)存、輸送過程中，一旦因設(shè)備材質(zhì)缺陷、制造質(zhì)量差、機(jī)械損傷等原因致使設(shè)備密封效果不好、包裝容器破損以及人員誤操作，造成物料泄漏，如作業(yè)現(xiàn)場通風(fēng)不良，與空氣混和達(dá)到爆炸極限，遇有火源可能發(fā)生火災(zāi)、爆炸;
2、腐蝕、中毒、化學(xué)灼傷
清洗、擴(kuò)散、光刻、蝕刻等生產(chǎn)區(qū)、酸室、Base room、堿室、溶劑室等腐蝕性化學(xué)品生產(chǎn)、儲(chǔ)存、使用場所內(nèi)，盛裝酸、堿性腐蝕品磷酸、鹽酸等設(shè)備、容器以及輸送管路因材質(zhì)缺陷，制造質(zhì)量差，搬運(yùn)、使用過程機(jī)械損壞、傾翻，造成物料泄漏，如人體接觸泄露的酸、堿性物質(zhì)將會(huì)引起嚴(yán)重的化學(xué)灼傷;同時(shí)各類腐蝕性氣體、毒性氣體因盛裝氣瓶、輸送管路、使用設(shè)備腐蝕、制造缺陷等原因造成泄漏，人接觸或吸入有毒、腐蝕性氣體，均會(huì)造成人員中毒。
3、物理爆炸
各類壓力容器(包括氣瓶)、管道，如果設(shè)備、管道因材質(zhì)缺陷、設(shè)計(jì)不合理、制造焊接質(zhì)量差、腐蝕等使其強(qiáng)度降低以及安全閥、壓力表等附件失靈等，可能發(fā)生容器、管道不能承受設(shè)計(jì)壓力而發(fā)生爆炸，造成人員傷亡，設(shè)備損壞。
4、高溫灼傷
高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。
5、激光、紅外線輻射灼傷
在各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機(jī)臺(tái)上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng)，致使光源直射觀察者眼睛，將會(huì)造成眼灼傷。
6、高頻、噪聲傷害
在離子植入?yún)^(qū)，使用離子植入機(jī)等高頻設(shè)備;清洗、光刻、蝕刻區(qū)使用各類清洗機(jī)、蝕刻機(jī)、微影機(jī)等產(chǎn)生噪聲的設(shè)備，如上述各類設(shè)備高頻、噪聲防護(hù)措施不當(dāng)或損壞都會(huì)對(duì)人員造成物理因素傷害。
7、高處墜落
當(dāng)去廢溶劑儲(chǔ)罐等相對(duì)基準(zhǔn)面標(biāo)高超過2m設(shè)備進(jìn)行檢查、操作或維修設(shè)備時(shí)，若未按標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置鋼梯、護(hù)欄、平臺(tái)或設(shè)置不完善，作業(yè)人員去檢查、操作或檢修時(shí)，稍不慎會(huì)發(fā)生高處墜落事故。
8、觸電
各類用電設(shè)備、照明、配電系統(tǒng)線路保護(hù)接零未接或失效，線路絕緣損壞、線路短路等均可能發(fā)生觸電事故。
9、電氣火災(zāi)
電氣設(shè)備、配電系統(tǒng)未按規(guī)定裝設(shè)漏電保護(hù)器、過電壓保護(hù)等裝置或失效，線路絕緣損壞、短路，以及防爆場所電氣設(shè)備、線路、照明不符合防爆要求等均會(huì)發(fā)生電氣火災(zāi)。
10、雷電危害
建筑物防雷設(shè)計(jì)不合理、施工不規(guī)范、接地電阻值不符合規(guī)范要求，當(dāng)雷擊建筑物、電力設(shè)備、線路等時(shí)，會(huì)產(chǎn)生雷電過電壓，在雷電波及的范圍內(nèi)會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重?fù)p壞建筑物、設(shè)備并可能危及人身安全。雷電火花還可能引發(fā)易燃易爆物質(zhì)的火災(zāi)、爆炸，造成嚴(yán)重的生命、財(cái)產(chǎn)損失。
11、靜電危害
如火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi)(如：光刻、清洗區(qū)、擴(kuò)散區(qū)、可燃?xì)怏w儲(chǔ)藏間等)設(shè)備、管路防靜電設(shè)計(jì)或施工不規(guī)范，在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時(shí)所產(chǎn)生的靜電電荷，不能及時(shí)消除，隨著時(shí)間延續(xù)，靜電荷將越聚越多，靜電電壓逐漸升高，當(dāng)達(dá)到一定程度時(shí)，發(fā)生放電火花;或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花等，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。
5.2.3 安全檢查表
依據(jù)GBJ16-87《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》(2001版)、GB50187《工廠企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》、SJ30002-92《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)規(guī)定》、GBJ19-87《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》(2001年版)、GB50073-2001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、GB5083-99《生產(chǎn)設(shè)備安全衛(wèi)生設(shè)計(jì)總則》、GB12801-91《生產(chǎn)過程安全衛(wèi)生要求總則》、GB2893-2001《安全色》、GB2894-96《安全標(biāo)志》、GB15603-95《常用化學(xué)危險(xiǎn)品貯存通則》、國務(wù)院令第344號(hào)《危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例》等法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范編制安全檢查表，查驗(yàn)結(jié)果詳見表5.2.3-1。
生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用單元安全檢查表。