生產(chǎn)工藝及危險化學品使用單元安全檢查表 表5.2.3-1
序號
檢查項目及內(nèi)容
依據(jù)法規(guī)
檢查結果
備注
1
建筑結構及平面布置
1.1
生產(chǎn)廠房耐火等級不應低于二級。
GBJ16-87
3.2.1
√
均為二級。
1.2
若多層生產(chǎn)廠房耐火等級為二級，其防火分區(qū)允許占地面積為4000m2。（因有自動水噴淋系統(tǒng)，防火分區(qū)允許占地面積增加一倍）
GBJ16-87
3.2.1
√
占地面積4000m2。
1.3
有爆炸危險的生產(chǎn)廠房（生產(chǎn)車間、易燃氣體室、硅烷室等）宜獨立設置。
GBJ16-87
3.4.1
√
單獨設置。
1.4
有爆炸危險的生產(chǎn)廠房（生產(chǎn)車間、易燃氣體室、硅烷室等）應設置必要的泄壓設施，泄壓設施宜采用輕質(zhì)屋頂作為泄壓面積。
GBJ16-87
3.4.2
∽
硅烷室屋頂泄爆、生產(chǎn)車間、易燃氣體室無泄壓。
1.5
硅烷室泄壓面積與廠房的體積比值（m2/m3）宜采用0.05～0.22，體積超過1000m3的建筑，不宜小于0.03。
GBJ16-87
3.4.3
√
約0.3。
1.6
生產(chǎn)車間、易燃氣體室、硅烷室等可能散發(fā)可燃氣體、可燃蒸氣的廠房應采用不發(fā)火地面。
GBJ16-87
3.4.6
√
環(huán)氧地面。
1.7
有爆炸危險的該甲乙類廠房不應設置辦公室、休息室如必須貼鄰布置，應采用一、二級耐火等級建筑物并應采用耐火極限不低于3h的非燃燒體防護墻隔開并設置直通室外或疏散樓梯的安全出口。
GBJ16-87
3.4.8
√
1.8
廠房結構應滿足地震烈度7度設防要求，框架抗震等級二級要求。
GB50187-93
2.0.4
√
7度設防。
1.9
芯片光刻等對潔凈度要求較高的主要生產(chǎn)廠房，宜布置在廠區(qū)最小頻率風向的下風側，并在四周留有綠化場地。
SJ30002-92
2.3.6
√
1.10
易燃易爆工作間宜設置在單層廠房內(nèi)，或設在多層廠房的頂層端部。
SJ30002-92
3.6.12
×
除硅烷室單獨設置外，均設在多層廠房一、二層內(nèi)。
2
潔凈廠房
2.1
潔凈室應設置人員凈化、物料凈化室和設施。
GB50073-2001
4.3.1
√
分別設置人員、物料凈化室。
2.2
潔凈室內(nèi)噪聲值不應大于70db（A）。
GB50073-2001
4.4.1
√
≤65dB。
2.3
潔凈實驗室耐火等級不應低于二級。
GB50073-2001
5.2.1
√
二級。
2.4
潔凈室的頂棚和壁板應為不燃燒體，且不得采用有機復合材料。
GB50073-2001
5.2.4
√
2.5
潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應設置不燃燒體隔斷措施。
GB50073-2001
5.2.5
√
用防火墻和防火門分隔。
2.6
潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應向疏散方向開啟，并加閉門器。
GB50073-2001
5.2.9
√
2.7
潔凈廠區(qū)應設置事故排風，潔凈室事故排風換氣次數(shù)應采用10～20次/h，事故排風宜由常用排風系統(tǒng)與事故排風系統(tǒng)共同保證，事故排風裝置的開關應分別設在潔凈室內(nèi)和室外便于操作的地點，事故排風應與報警裝置聯(lián)鎖。
SJ30002-92
7.0.10
√
設置排風系統(tǒng)，常開；特殊氣體室室外設手動開關，設自動聯(lián)鎖報警。
3
作業(yè)環(huán)境及工藝、設備安全裝置
3.1
作業(yè)環(huán)境
3.1.1
車間內(nèi)人工運輸通道寬度必須≥1.0m。
SJ30002-92
3.1.3
√
2.5m
3.1.2
設備設施之間應留有相應的操作空間、檢修空間、巡回檢查及安全通道。
SJ30002-92
3.1.4
√
3.1.3
潔凈廠房應設置供人員疏散用的應急照明，并應設置指明應急安全出口的疏散標志。在專用消防出口處應設紅色應急照明燈。
SJ30002-92
7.0.14
√
設應急照明、疏散標志。
3.1.4
易燃易爆廠房的人員疏散，通道應保持暢通，并應設置應急照明，疏散指示標志及排煙措施。
SJ30002-92
3.6.13
√
3.1.5
鋼梯、平臺所設置的護欄的設計應符合有關標準。
GB4053.1～3-93
GB4053.4-83
第2.5.2條
×
廢液收集罐處平臺護欄不符要求。
3.2
電子、化學工藝安全
3.2.1
高能離子注入機應設在人流最少的區(qū)域內(nèi)，并應有符合國家標準要求的接地及相應的電磁波、X射線防護措施。
SJ30002-92
3.2.3
√
設置于人流最少的東側，采取隔離防護措施。
3.2.2
聯(lián)動生產(chǎn)線應有緊急制動裝置或聯(lián)鎖裝置，危險部位應設置醒目的警告標志；散發(fā)毒氣的工序應設置排風；帶電作業(yè)的工序需裝設自動保護裝置。
SJ30002-92
3.2.5
√
設置緊急制動，設置警告標志及排風系統(tǒng)，帶電作業(yè)設置接地故障、短路故障保護裝置。
3.2.3
使用酸、堿或有機溶劑進行清洗的設備，必須裝設局部排風系統(tǒng)，使用有毒溶劑進行清洗的設備應采取密閉措施；凡使用電氣的化學清洗設備，應有良好的接地。
SJ30002-92
3.3.1
√
均設置。
3.2.4
生產(chǎn)車間內(nèi)應設置緊急沖淋裝置及洗眼器。
SJ30002-92
3.3.6
√
設置洗眼、淋浴器。
3.2.5
對于存在激光輻射設備，應采取屏蔽等防護措施。
SJ30002-92
9.1
√
屏蔽光源保護措施。
3.3
防火、防爆、防中毒
3.3.1
輸送易燃易爆介質(zhì)的管道、管件、閥門、泵的連接處必須嚴密，管道系統(tǒng)應采取接地措施。
SJ30002-92
3.6.8
√
管道系統(tǒng)通過管架接地。
3.3.2
易燃工作間的設備、電氣線路，開關、燈具等，均應采用相應等級的防爆型產(chǎn)品。
SJ30002-92
3.6.11
√
序號
檢查項目及內(nèi)容
依據(jù)法規(guī)
檢查結果
備注
1
建筑結構及平面布置
1.1
生產(chǎn)廠房耐火等級不應低于二級。
GBJ16-87
3.2.1
√
均為二級。
1.2
若多層生產(chǎn)廠房耐火等級為二級，其防火分區(qū)允許占地面積為4000m2。（因有自動水噴淋系統(tǒng)，防火分區(qū)允許占地面積增加一倍）
GBJ16-87
3.2.1
√
占地面積4000m2。
1.3
有爆炸危險的生產(chǎn)廠房（生產(chǎn)車間、易燃氣體室、硅烷室等）宜獨立設置。
GBJ16-87
3.4.1
√
單獨設置。
1.4
有爆炸危險的生產(chǎn)廠房（生產(chǎn)車間、易燃氣體室、硅烷室等）應設置必要的泄壓設施，泄壓設施宜采用輕質(zhì)屋頂作為泄壓面積。
GBJ16-87
3.4.2
∽
硅烷室屋頂泄爆、生產(chǎn)車間、易燃氣體室無泄壓。
1.5
硅烷室泄壓面積與廠房的體積比值（m2/m3）宜采用0.05～0.22，體積超過1000m3的建筑，不宜小于0.03。
GBJ16-87
3.4.3
√
約0.3。
1.6
生產(chǎn)車間、易燃氣體室、硅烷室等可能散發(fā)可燃氣體、可燃蒸氣的廠房應采用不發(fā)火地面。
GBJ16-87
3.4.6
√
環(huán)氧地面。
1.7
有爆炸危險的該甲乙類廠房不應設置辦公室、休息室如必須貼鄰布置，應采用一、二級耐火等級建筑物并應采用耐火極限不低于3h的非燃燒體防護墻隔開并設置直通室外或疏散樓梯的安全出口。
GBJ16-87
3.4.8
√
1.8
廠房結構應滿足地震烈度7度設防要求，框架抗震等級二級要求。
GB50187-93
2.0.4
√
7度設防。
1.9
芯片光刻等對潔凈度要求較高的主要生產(chǎn)廠房，宜布置在廠區(qū)最小頻率風向的下風側，并在四周留有綠化場地。
SJ30002-92
2.3.6
√
1.10
易燃易爆工作間宜設置在單層廠房內(nèi)，或設在多層廠房的頂層端部。
SJ30002-92
3.6.12
×
除硅烷室單獨設置外，均設在多層廠房一、二層內(nèi)。
2
潔凈廠房
2.1
潔凈室應設置人員凈化、物料凈化室和設施。
GB50073-2001
4.3.1
√
分別設置人員、物料凈化室。
2.2
潔凈室內(nèi)噪聲值不應大于70db（A）。
GB50073-2001
4.4.1
√
≤65dB。
2.3
潔凈實驗室耐火等級不應低于二級。
GB50073-2001
5.2.1
√
二級。
2.4
潔凈室的頂棚和壁板應為不燃燒體，且不得采用有機復合材料。
GB50073-2001
5.2.4
√
2.5
潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應設置不燃燒體隔斷措施。
GB50073-2001
5.2.5
√
用防火墻和防火門分隔。
2.6
潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應向疏散方向開啟，并加閉門器。
GB50073-2001
5.2.9
√
2.7
潔凈廠區(qū)應設置事故排風，潔凈室事故排風換氣次數(shù)應采用10～20次/h，事故排風宜由常用排風系統(tǒng)與事故排風系統(tǒng)共同保證，事故排風裝置的開關應分別設在潔凈室內(nèi)和室外便于操作的地點，事故排風應與報警裝置聯(lián)鎖。
SJ30002-92
7.0.10
√
設置排風系統(tǒng)，常開；特殊氣體室室外設手動開關，設自動聯(lián)鎖報警。
3
作業(yè)環(huán)境及工藝、設備安全裝置
3.1
作業(yè)環(huán)境
3.1.1
車間內(nèi)人工運輸通道寬度必須≥1.0m。
SJ30002-92
3.1.3
√
2.5m
3.1.2
設備設施之間應留有相應的操作空間、檢修空間、巡回檢查及安全通道。
SJ30002-92
3.1.4
√
3.1.3
潔凈廠房應設置供人員疏散用的應急照明，并應設置指明應急安全出口的疏散標志。在專用消防出口處應設紅色應急照明燈。
SJ30002-92
7.0.14
√
設應急照明、疏散標志。
3.1.4
易燃易爆廠房的人員疏散，通道應保持暢通，并應設置應急照明，疏散指示標志及排煙措施。
SJ30002-92
3.6.13
√
3.1.5
鋼梯、平臺所設置的護欄的設計應符合有關標準。
GB4053.1～3-93
GB4053.4-83
第2.5.2條
×
廢液收集罐處平臺護欄不符要求。
3.2
電子、化學工藝安全
3.2.1
高能離子注入機應設在人流最少的區(qū)域內(nèi)，并應有符合國家標準要求的接地及相應的電磁波、X射線防護措施。
SJ30002-92
3.2.3
√
設置于人流最少的東側，采取隔離防護措施。
3.2.2
聯(lián)動生產(chǎn)線應有緊急制動裝置或聯(lián)鎖裝置，危險部位應設置醒目的警告標志；散發(fā)毒氣的工序應設置排風；帶電作業(yè)的工序需裝設自動保護裝置。
SJ30002-92
3.2.5
√
設置緊急制動，設置警告標志及排風系統(tǒng)，帶電作業(yè)設置接地故障、短路故障保護裝置。
3.2.3
使用酸、堿或有機溶劑進行清洗的設備，必須裝設局部排風系統(tǒng)，使用有毒溶劑進行清洗的設備應采取密閉措施；凡使用電氣的化學清洗設備，應有良好的接地。
SJ30002-92
3.3.1
√
均設置。
3.2.4
生產(chǎn)車間內(nèi)應設置緊急沖淋裝置及洗眼器。
SJ30002-92
3.3.6
√
設置洗眼、淋浴器。
3.2.5
對于存在激光輻射設備，應采取屏蔽等防護措施。
SJ30002-92
9.1
√
屏蔽光源保護措施。
3.3
防火、防爆、防中毒
3.3.1
輸送易燃易爆介質(zhì)的管道、管件、閥門、泵的連接處必須嚴密，管道系統(tǒng)應采取接地措施。
SJ30002-92
3.6.8
√
管道系統(tǒng)通過管架接地。
3.3.2
易燃工作間的設備、電氣線路，開關、燈具等，均應采用相應等級的防爆型產(chǎn)品。
SJ30002-92
3.6.11
√